剥離装置、剥離システムおよび剥離方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-045969
公開番号（公開出願番号）：特開2014-175420
出願日： 2013年03月07日
公開日（公表日）： 2014年09月22日
要約：

【課題】剥離処理の効率化を図ること。【解決手段】実施形態に係る剥離装置は、保持部と、複数の吸着移動部と、状態検知部と、制御部とを備える。保持部は、第1基板と第2基板とが接合された重合基板のうち第1基板を保持する。複数の吸着移動部は、重合基板のうち第2基板を吸着し、第2基板を第1基板の板面から離す方向へ移動させる。状態検知部は、第2基板の第1基板からの剥離状態を検知する。制御部は、状態検知部によって検知された剥離状態に基づき、第2基板が第2基板の一端から他端へ向けて第1基板から徐々に剥離するように、吸着移動部の動作タイミングを制御する。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

第1基板と第2基板とが接合された重合基板のうち前記第1基板を保持する保持部と、前記重合基板のうち前記第2基板を吸着し、前記第2基板を前記第1基板の板面から離す方向へ移動させる複数の吸着移動部と、前記第2基板の前記第1基板からの剥離状態を検知する状態検知部と、前記状態検知部によって検知された前記剥離状態に基づき、前記第2基板が該第2基板の一端から他端へ向けて前記第1基板から徐々に剥離するように、前記吸着移動部の動作タイミングを制御する制御部とを備えることを特徴とする剥離装置。

IPC (3件)：

H01L 21/683 , H01L 21/02 , H01L 21/304

FI (3件)：

H01L21/68 N , H01L21/02 B , H01L21/304 622P

Fターム (49件)：

5F057AA12 , 5F057BA21 , 5F057BB03 , 5F057BB05 , 5F057CA14 , 5F057DA01 , 5F057FA15 , 5F057FA22 , 5F057FA28 , 5F057FA30 , 5F131AA02 , 5F131BA37 , 5F131BA53 , 5F131BB03 , 5F131CA32 , 5F131DA14 , 5F131DA16 , 5F131DA32 , 5F131DA33 , 5F131DA36 , 5F131DA42 , 5F131DB51 , 5F131DB58 , 5F131DB62 , 5F131DB72 , 5F131DB76 , 5F131DD52 , 5F131DD82 , 5F131EA07 , 5F131EA23 , 5F131EA24 , 5F131EB01 , 5F131EC33 , 5F131EC43 , 5F131EC62 , 5F131EC68 , 5F131EC72 , 5F131EC77 , 5F131GA03 , 5F131GB03 , 5F131GB12 , 5F131GB22 , 5F131KA11 , 5F131KA15 , 5F131KA32 , 5F131KA47 , 5F131KB05 , 5F131KB12 , 5F131KB56

引用特許：

審査官引用 (5件)

剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-155996 出願人：東京エレクトロン株式会社
保護テープ剥離方法およびこれを用いた保護テープ剥離装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-078410 出願人：日東電工株式会社, 日東精機株式会社
特開平1-319938

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