特許
J-GLOBAL ID：201403053646817244

圧電式回転角センサの分極方法

発明者：
四十物 孝憲

四十物 孝憲 について


出願人/特許権者：
スタンレー電気株式会社

スタンレー電気株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-285516
公開番号（公開出願番号）：特開2014-127681
出願日： 2012年12月27日
公開日（公表日）： 2014年07月07日
要約：
【課題】光偏向器において圧電式回転角センサの出力を増大させる分極方法を提供する。【解決手段】光偏向器は、矩形枠に結合したミラー部を所定軸線の回りに回動させる圧電アクチュエータと、その基板層26に下から順番に積層された下部電極層29、圧電膜層30及び上部電極層31を有し、基板層26の伸縮量に応じた電圧を出力する圧電式回転角センサとを備える。下部電極層29及び上部電極層31へ向く電界の向きをそれぞれ正及び負の向きとし、絶対値が圧電膜層30の抗電界の絶対値より大きい正及び負の向きの電界が生じる分極処理電圧を両電極層29,31の間にそれぞれ印加する正分極処理と負分極処理とを、正分極処理は少なくとも2回、負分極処理は少なくとも1回含むように、交互に実施する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
一定の方向から入射する光を反射するミラー部と、 支持体と、 前記ミラー部を所定軸線の回りに回動可能に前記支持体に結合し、前記ミラー部の回転角に応じて伸縮する伸縮面を有する結合部と、 前記ミラー部を前記所定軸線の回りに回動させる圧電アクチュエータと、 前記結合部の伸縮面に下から順番に積層される下部電極層、圧電膜層及び上部電極層を有し、前記伸縮面の伸縮量に応じた電圧を電極間電圧として出力する圧電式回転角センサとを備える光偏向器における前記圧電式回転角センサの分極方法であって、 前記圧電膜層の厚さ方向において前記下部電極層及び前記上部電極層へ向く電界の向きをそれぞれ正及び負の向きとしたときに、絶対値が前記圧電膜層の抗電界の絶対値より大きい正及び負の向きの電界が生じる分極処理電圧を両電極層の間にそれぞれ印加する正分極処理と負分極処理とを、正分極処理は少なくとも2回、負分極処理は少なくとも1回含むように、交互に実施することを特徴とする圧電式回転角センサの分極方法。
IPC (7件)：
H01L 41/257 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  G02B 26/10 ,  G01B 7/30
FI (8件)：
H01L41/22 B ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 J ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  G02B26/10 104Z ,  G01B7/30 B
Fターム (9件)：
2F063AA35 ,  2F063BA25 ,  2F063DA05 ,  2F063JA10 ,  2H045AB01 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB44 ,  2H045AB73
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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