結晶試料の評価方法及び評価装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：布施行夫 , 大渕美千栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-165976
公開番号（公開出願番号）：特開2014-025793
出願日： 2012年07月26日
公開日（公表日）： 2014年02月06日
要約：

【課題】試料を移動させることなく分光スペクトルの強度変化に基づく評価を行うことが可能な結晶試料の評価方法及び評価装置を提供すること。【解決手段】光源10からの光を、1/2波長板20を介して結晶試料Sに照射する照射部と、結晶試料Sから発生し1/2波長板20を透過した散乱光を分光して、散乱光の分光スペクトルを取得する分光器40及び光検出器42と、取得された分光スペクトルに基づいて、結晶試料Sを評価する演算処理部50とを含み、1/2波長板20は、光路OA回りに回転可能に構成され、演算処理部50は、1/2波長板20を回転させた場合に取得される前記分光スペクトルの強度変化に基づいて、結晶試料Sのラマンテンソル成分の大きさを求める処理を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源からの光を、1/2波長板を介して結晶試料に照射する手順と、前記結晶試料から発生し前記1/2波長板を透過した散乱光を分光して、前記散乱光の分光スペクトルを取得する取得手順と、取得された前記分光スペクトルに基づいて、前記結晶試料を評価する評価手順とを含み、前記1/2波長板は、回転可能に構成され、前記評価手順では、前記1/2波長板を回転させた場合に取得される前記分光スペクトルの強度変化に基づいて、前記結晶試料を評価することを特徴とする結晶試料の評価方法。

IPC (2件)：

G01N 21/65 , G01J 3/44

FI (2件)：

G01N21/65 , G01J3/44

Fターム (30件)：

2G020AA04 , 2G020BA04 , 2G020BA20 , 2G020CA04 , 2G020CB04 , 2G020CB23 , 2G020CB43 , 2G020CD04 , 2G020CD13 , 2G020CD22 , 2G020CD36 , 2G043AA03 , 2G043CA05 , 2G043DA05 , 2G043DA06 , 2G043EA03 , 2G043EA14 , 2G043FA06 , 2G043GA02 , 2G043GB03 , 2G043HA01 , 2G043HA07 , 2G043HA09 , 2G043JA04 , 2G043KA02 , 2G043KA09 , 2G043LA03 , 2G043MA01 , 2G043MA04 , 2G043NA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

共焦点顕微分光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-146343 出願人：株式会社東京インスツルメンツ
特開昭62-242842
強誘電体結晶の評価方法および評価装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-340177 出願人：富士通株式会社

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