特許
J-GLOBAL ID：201403059571882663
加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松本 昂
, 大上 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-280004
公開番号（公開出願番号）：特開2014-121758
出願日： 2012年12月21日
公開日（公表日）： 2014年07月03日
要約：
【課題】 異常の原因によらずファンによる吸引量の低下を検出し得る加工装置を提供することである。【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、該チャックテーブルと該加工手段とを囲繞する加工室と、一端が該加工室の連通孔に連通するとともに他端がファンに接続され該加工室内の雰囲気を排気する排気路と、を備えた加工装置であって、該加工室内の雰囲気と該加工装置外の大気との差圧を検出する差圧計を更に備え、該差圧計で検出された該加工室内の雰囲気と該加工装置外の大気との差圧が所定値を下回ることで、該加工室内における吸引量の低下を検出し、該連通孔と該ファンを含む該排気路の異常を検出することを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、該チャックテーブルと該加工手段とを囲繞する加工室と、一端が該加工室の連通孔に連通するとともに他端がファンに接続され該加工室内の雰囲気を排気する排気路と、を備えた加工装置であって、
該加工室内の雰囲気と該加工装置外の大気との差圧を検出する差圧計を更に備え、
該差圧計で検出された該加工室内の雰囲気と該加工装置外の大気との差圧が所定値を下回ることで、該加工室内における吸引量の低下を検出し、該連通孔と該ファンを含む該排気路の異常を検出することを特徴とする加工装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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