超音波洗浄方法および超音波洗浄装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人深見特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-118635
公開番号（公開出願番号）：特開2013-247185
特許番号：特許第5453487号
出願日： 2012年05月24日
公開日（公表日）： 2013年12月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】気体が溶存された液体に超音波を照射することにより前記液体中の洗浄対象物を洗浄するための超音波洗浄方法であって、前記気体が溶存された前記液体を準備する工程と、前記液体に照射されている前記超音波の周波数の4倍の周波数である4次周波数における前記液体の振動強度を前記超音波の周波数における前記液体の振動強度で除した比率が0.8/1000より大きくなるように、前記液体に前記超音波を照射しながら前記洗浄対象物を洗浄する工程とを備えた、超音波洗浄方法。

IPC (2件)：