研削装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：松本昂 , 大上寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-173617
公開番号（公開出願番号）：特開2014-030884
出願日： 2012年08月06日
公開日（公表日）： 2014年02月20日
要約：

【課題】被加工物を均一な仕上げ厚みに研削可能な研削装置を提供する。【解決手段】研削装置は、被加工物を保持する円錐状の保持面を有するチャックテーブル46と、該チャックテーブル46と同心状に配設される、固定支持部材80と少なくとも1個の可動支持部材90からなる併せて3個以上の支持部材とを有し、該保持面の円錐軸を回転軸とした保持手段と、回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルの先端に装着された研削ホイールとを有し、該チャックテーブル46に保持された被加工物に該保持面の中心から外周に至る研削領域に研削加工を施す研削手段と、該研削手段で研削加工が施された被加工物の厚みを測定し、中凸又は中凹形状を検出する形状検出手段と、該形状検出手段で検出された被加工物の形状に基づいて、可動支持部材90を加熱又は冷却して該チャックテーブル46の該保持面の傾きを変更する傾き変更手段と、を具備したことを特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被加工物を研削する研削装置であって、被加工物を保持する円錐状の保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルを支持する該チャックテーブルと同心状に配設された3個以上の支持部材とを有し、該保持面の円錐軸を回転軸とした保持手段と、回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルの先端に装着された研削ホイールとを有し、該チャックテーブルに保持された被加工物に該保持面の中心から外周に至る研削領域に研削加工を施す研削手段と、該研削手段で研削加工が施された被加工物の厚みを測定し、中凸又は中凹形状を検出する形状検出手段と、該形状検出手段で検出された被加工物の形状に基づいて、少なくとも前記支持部材のうちの一つを加熱又は冷却して該チャックテーブルの該保持面の傾きを変更する傾き変更手段と、を具備したことを特徴とする研削装置。

IPC (2件)：

B24B 49/03 , B24B 41/06

FI (2件)：

B24B49/03 Z , B24B41/06 L

Fターム (16件)：

3C034AA08 , 3C034BB71 , 3C034CA03 , 3C034CB08 , 3C034DD08 , 3C034DD09 , 3C034DD10 , 5F057AA02 , 5F057AA32 , 5F057BA15 , 5F057CA14 , 5F057DA11 , 5F057FA13 , 5F057FA50 , 5F057GA01 , 5F057GB12

引用特許：

審査官引用 (4件)

研削加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-109803 出願人：株式会社ディスコ
研削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-011160 出願人：株式会社東芝
加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-298229 出願人：株式会社ディスコ

全件表示

前のページに戻る