リニアモータ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：森下賢樹 , 村田雄祐 , 三木友由 , 富所輝観夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-040530
公開番号（公開出願番号）：特開2014-171281
出願日： 2013年03月01日
公開日（公表日）： 2014年09月18日
要約：

【課題】リニアモータの漏洩磁場を低減する。【解決手段】リニアモータ2は、第1方向に移動可能な可動子10と、固定子20と、を有する。ヨーク22は、可動子10を第1方向と垂直な第2方向から挟み込むように対向して設けられた一対のバックヨーク22a、22bを有する。複数の界磁磁石24は、一対のバックヨーク22それぞれの内側側面S1に、第1方向に沿って設けられる。一対の補助磁石26a(26b)は(i)バックヨーク22a(22b)の端部側面S2、ならびに(ii)バックヨーク22a(22b)に設けられた最端の界磁磁石24a’の近傍に設けられている。磁性体部材30は、一対の補助磁石26a、26bを囲むように設けられる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

第1方向に移動可能な可動子と、固定子と、を有するリニアモータであって、前記固定子は、前記可動子を前記第1方向と垂直な第2方向から挟み込むように対向して設けられた一対のバックヨークと、前記一対のバックヨークそれぞれの内側側面に、前記第1方向に沿って設けられた複数の界磁磁石と、前記一対のバックヨークそれぞれの近接する端部の間を磁気的に結合する磁性体部材であって、前記一対のバックヨークそれぞれの、少なくとも前記第1方向と垂直な端部側面と、外側側面の一部と、を覆うように構成される磁性体部材と、を備えることを特徴とするリニアモータ。

IPC (1件)：

H02K 41/03

FI (1件)：

H02K41/03 A

Fターム (7件)：

5H641BB06 , 5H641BB14 , 5H641BB18 , 5H641GG03 , 5H641HH02 , 5H641HH05 , 5H641HH13

引用特許：

審査官引用 (9件)

リニアモータ
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-120430 出願人：株式会社アイエイアイ
モータ装置、ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-027700 出願人：株式会社ニコン
ボイスコイル形リニアモータ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-137337 出願人：株式会社安川電機

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