パルスレーザー装置及びこれを用いたバストモード、可変バストモード制御方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須藤浩
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-508273
公開番号（公開出願番号）：特表2014-515886
出願日： 2011年12月13日
公開日（公表日）： 2014年07月03日
要約：

本発明はパルスレーザー装置に関するものであって、より詳しくは、低出力のレーザー発生器の出力を調節して最終出力光パルス列の尖頭出力のプロファイルを一定に制御することができるバストモードと、最終出力光パルス列のプロファイルを任意波形に制御することができる可変バストモードに作動できるパルスレーザー装置及びその制御方法に関して開示する。本発明は、パルス信号と、前記パルス信号の間の休止区間で可変的に出力される待機信号を含むシードレーザー信号を生成するレーザー発生器、前記シードレーザー信号を増幅して増幅信号を生成する光増幅器、前記増幅信号の強度によって非線形的に波長変換信号を出力する非線形波長変換機、及び前記波長変換信号から出力パルスを分離する光分離器を含むパルスレーザー装置を提供する。

請求項（抜粋）：

シードレーザー信号を生成するレーザー発生器と、前記シードレーザー信号を増幅する光増幅器とを含み、前記レーザー発生器はパルス信号及び待機信号を含むシードレーザー信号を発生し、前記パルス信号の間の休止区間が基準休止区間を超過する領域で、前記光増幅器のエネルギーを消耗させるための待機信号を発生させることを特徴とする、パルスレーザー装置。

IPC (3件)：

H01S 3/10 , H01S 5/062 , G02F 1/37

FI (3件)：

H01S3/10 A , H01S5/062 , G02F1/37

Fターム (24件)：

2K102AA08 , 2K102BA18 , 2K102BA22 , 2K102BB02 , 2K102BC02 , 2K102BD10 , 2K102DA01 , 2K102EB06 , 2K102EB08 , 2K102EB14 , 2K102EB20 , 5F172AM08 , 5F172DD03 , 5F172DD06 , 5F172NN05 , 5F172NN13 , 5F172NN14 , 5F172NN23 , 5F172NR14 , 5F172NR22 , 5F172NR28 , 5F173SC10 , 5F173SE02 , 5F173SG09

引用特許：

審査官引用 (4件)

レーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-258126 出願人：株式会社ニコン, 古河電気工業株式会社
ファイバレーザ加工装置及びファイバレーザ加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-292014 出願人：ミヤチテクノス株式会社
専用に設定されているパルスバースト
公報種別：公表公報出願番号：特願2012-521741 出願人：モビアスフォトニクス,インク.

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