特許

J-GLOBAL ID：201403072966042954

荷電粒子線装置、試料観察システムおよび操作プログラム

発明者： 小西 弥生 ,  佐藤 貢 ,  ▲高▼野 昌樹 ,  玉山 尚太朗 ,  西村 雅子 ,  渡邉 俊哉 ,  許斐 麻美
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-234858
公開番号（公開出願番号）：特開2014-063746
出願日： 2013年11月13日
公開日（公表日）： 2014年04月10日
要約：

【課題】初心者でも、観察条件の違いによる撮影結果の違いを容易に認識できるようにする。【解決手段】荷電粒子線装置のパラメータ設定値の組み合わせである試料の観察条件を変更するための観察目的設定ボタンE141を操作画面200に複数表示するコンピュータを有し、処理部は、複数の観察目的設定ボタンE141にかかる観察条件の特徴を、相反した3つ以上の項目で表示するレーダチャートE144を操作画面200に表示させることを特徴とする。そして、そのレーダチャートE144には、高分解能、表面構造の強調および材料の違いの強調が項目として少なくとも表示される。【選択図】図17

請求項（抜粋）：

荷電粒子線装置のパラメータ設定値の組み合わせである試料の観察条件を変更するための観察目的設定ボタンを画像表示装置の画像表示部に複数表示する処理部 を有し、 前記処理部は、 複数の前記観察目的設定ボタンにかかる観察条件の特徴を、相反した3つ以上の項目で表示する観察条件特徴表示を前記画像表示部に表示させる ことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (3件)：

H01J 37/24 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/22

FI (3件)：

H01J37/24 ,  H01J37/28 B ,  H01J37/22 502H

Fターム (3件)：

5C033UU02 ,  5C033UU05 ,  5C033UU06

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 試料検査方法及び試料検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-328959   出願人：日本電子株式会社
• 試料表示装置、試料表示装置の操作方法、試料表示装置操作プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-366741   出願人：株式会社キーエンス
• 透過電子顕微鏡装置および透過電子検査装置並びに検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-043235   出願人：株式会社日立製作所
• 電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-209445   出願人：日本電子株式会社