特許
J-GLOBAL ID：200903023614504515

試料表示装置、試料表示装置の操作方法、試料表示装置操作プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器

発明者：
橘 和広

橘 和広 について

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佐竹 一正

佐竹 一正 について

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高橋 晋也

高橋 晋也 について


出願人/特許権者：
株式会社キーエンス

株式会社キーエンス について


代理人 (2件)： 豊栖 康司 ,  豊栖 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-366741
公開番号（公開出願番号）：特開2006-173020
出願日： 2004年12月17日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：
【課題】異なる倍率レンジを有する複数の撮像装置を使用する試料表示装置において、各撮像装置間の位置合わせ作業を容易に行えるようにする。【解決手段】試料表示装置は、表示可能な倍率範囲の異なる複数の撮像部を備える試料表示装置であって、観察対象の画像を所定の倍率範囲で撮像可能な第1撮像部と、同一の観察対象について、第1撮像部と異なる倍率範囲で撮像可能な第2撮像部と、第1撮像部又は第2撮像部で撮像した観察画像を表示するための表示部と、表示部に表示される第1撮像部で撮像した第1基準画像に基づき、第1撮像部で撮像される観察画像と第2撮像部で撮像される観察画像の位置合わせを行うために、少なくとも一方の観察画像に対して座標位置及び/又は大きさを調整する補正部90と、補正部90による位置合わせ作業の手順及び/又は補正項目の説明を表示する手順説明部78とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
表示可能な倍率範囲の異なる複数の撮像部を備える試料表示装置であって、 観察対象の画像を所定の倍率範囲で撮像可能な第1撮像部と、 同一の観察対象について、前記第1撮像部と異なる倍率範囲で撮像可能な第2撮像部と、 前記第1撮像部又は第2撮像部で撮像した観察画像を表示するための表示部と、 前記表示部に表示される前記第1撮像部で撮像した第1基準画像に基づき、前記第1撮像部で撮像される観察画像と前記第2撮像部で撮像される観察画像の位置合わせを行うために、少なくとも一方の観察画像に対して座標位置及び/又は大きさを調整する補正部と、 前記補正部による位置合わせ作業の手順及び/又は補正項目の説明を表示する手順説明部と、 を備えることを特徴とする試料表示装置。
IPC (3件)：
H01J 37/22 ,  G01N 13/10 ,  H01J 37/28
FI (4件)：
H01J37/22 502A ,  H01J37/22 502L ,  G01N13/10 E ,  H01J37/28 B
Fターム (3件)：
5C033UU06 ,  5C033UU08 ,  5C033UU09
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特開平3-93140号公報
審査官引用 (5件)
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