特許
J-GLOBAL ID：201403077670224056
光学顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
平井 正司
, 神津 堯子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-199967
公開番号（公開出願番号）：特開2014-056060
出願日： 2012年09月11日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
要約：
【課題】観察用画像及び計測用画像を取得するに際してその双方の画像を最適化するための調整とユーセントリック性の両立を確保する。【解決手段】ステージ140に載置した対象物Sに向けた観察中心軸640を有する受光部120と、対象物Sに対して斜め上方から光を照射する投光部110と、投光部110を使って対象物Sを照射して受光部120で取得した計測用画像を所定のアルゴリズムで処理して3D形状データを生成する手段とを有する。投光部110の投光光軸は受光部120の焦点位置に差し向けられている。ステージ140上の対象物Sを回転させるθステージ143の回転軸が受光部120の観察中心軸640と同軸に設定されている。θステージ143の回転軸及び受光部120の観察中心軸640は、受光部120の焦点位置と投光部110の投光光軸642とが交差する点Pを通過するように設定されている。【選択図】図30
請求項（抜粋）：
対象物を載置するステージと、
該ステージに載置された対象物に向けた観察中心軸を有する受光部と、
前記対象物に対して斜め上方から光を照射する投光部と、
該投光部を使って前記対象物を照射して前記受光部で取得した計測用画像を所定のアルゴリズムで処理して三次元形状データを生成する三次元形状データ生成手段とを有する光学顕微鏡であって、
前記投光部の投光光軸が前記受光部の焦点位置に差し向けられ、
前記ステージ上の対象物を回転させるθステージの回転軸が前記受光部の観察中心軸と同軸に設定され、
前記θステージの回転軸及び前記受光部の観察中心軸が、前記受光部の焦点位置と前記投光部の投光光軸とが交差する点を通過するように設定されていることを特徴とする光学顕微鏡。
IPC (3件)：
G02B 21/26
, G02B 21/36
, G02B 21/06
G02B21/26
, G02B21/36
, G02B21/06
2H052AC04
, 2H052AC09
, 2H052AD18
, 2H052AD20
, 2H052AD21
, 2H052AD22
, 2H052AF14
, 2H052AF25
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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