セラミックヒーター

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-036813
公開番号（公開出願番号）：特開2014-165416
出願日： 2013年02月27日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
要約：

【課題】ヒータープレートに載置されるウェハに対して所望の温度分布の形成の容易化を図ることができるセラミックヒーターを提供する。【解決手段】セラミックヒーター1は、ウェハ400が載置されるヒータープレート200の面と反対側のヒータープレート端面202と、ヒータープレート端面202に対して接続される支持部材100の第1端面110と、ヒータープレート端面202側に形成され、開口外縁が環状かつ有底のヒータープレート凹部204、及び、第1端面110側に形成され、開口外縁が環状かつ有底の第1凹部130の少なくともいずれか一方とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ウェハが載置されるヒータープレートと、前記ヒータープレートと接続する支持部材とを備えるセラミックヒーターであって、前記ウェハが載置される面と反対側の面であり、前記支持部材が接続される前記ヒータープレートのヒータープレート端面と、前記ヒータープレート端面に対して接続される前記支持部材の第1端面と、前記ヒータープレート端面側において前記ヒータープレートに形成され、環状の開口外縁が前記ヒータープレートと前記支持部材との接続領域の内側に位置するヒータープレート凹部、及び、前記第1端面側において前記支持部材に形成され、環状の開口外縁が前記接続領域の内側に位置する第1凹部の少なくともいずれか一方とを備えることを特徴とするセラミックヒーター。

IPC (3件)：

H01L 21/02 , H05B 3/68 , H05B 3/06

FI (3件)：

H01L21/02 Z , H05B3/68 , H05B3/06 B

Fターム (4件)：

3K092PP09 , 3K092QA05 , 3K092TT01 , 3K092VV22

引用特許：

審査官引用 (3件)

セラミックスヒータ
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-144910 出願人：太平洋セメント株式会社, 株式会社日本セラテック
ヒータユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-188641 出願人：日本発条株式会社
載置台構造及び処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-026987 出願人：東京エレクトロン株式会社

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