特許
J-GLOBAL ID：201403086075764330

新規な4B族有機金属化合物及びその製造方法

発明者：
アン, デジュン

アン, デジュン について

, 
キム, ヒュンチャン

キム, ヒュンチャン について


出願人/特許権者：
メカロニックス シーオー. エルティディ.

メカロニックス シーオー. エルティディ. について


代理人 (2件)： 鍬田 充生 ,  阪中 浩
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-558779
公開番号（公開出願番号）：特表2014-510733
出願日： 2012年03月02日
公開日（公表日）： 2014年05月01日
要約：
本発明は、下記一般式(1)に表される新規な4B族有機金属化合物及びその製造方法に関する。より詳しくは、化学蒸着法(Chemical vapor deposition:CVD)又は原子層蒸着法(Atomic layer deposition:ALD)に適用可能で熱的及び化学的に安定した4B族有機金属化合物及びその製造方法に関する。本発明によって合成された4B族有機金属化合物は揮発性及び熱安定性が高く、4B族金属酸化物薄膜製造に有益に使うことができる。(式中、MはTi、Zr又はHfを示し、R1はC1〜C4のアルキル基を示し、R2及びR3は各々独立して、C1〜C6のアルキル基を示す)
請求項（抜粋）：
下記一般式(1)で示される4B族有機金属化合物。
IPC (8件)：
C07F 7/00 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/34 ,  C23C 16/32 ,  C23C 16/36 ,  C23C 16/455 ,  C23C 16/448 ,  H01L 21/314
FI (9件)：
C07F7/00 A ,  C07F7/00 Z ,  C23C16/40 ,  C23C16/34 ,  C23C16/32 ,  C23C16/36 ,  C23C16/455 ,  C23C16/448 ,  H01L21/314 A
Fターム (41件)：
4H049VN05 ,  4H049VN06 ,  4H049VN07 ,  4H049VP01 ,  4H049VQ35 ,  4H049VR21 ,  4H049VR53 ,  4H049VS35 ,  4H049VU24 ,  4H049VV02 ,  4H049VW02 ,  4H049VW35 ,  4K030AA11 ,  4K030AA13 ,  4K030AA14 ,  4K030AA16 ,  4K030BA36 ,  4K030BA38 ,  4K030BA41 ,  4K030BA42 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030EA01 ,  4K030EA03 ,  4K030FA01 ,  4K030FA10 ,  4K030HA01 ,  4K030JA10 ,  4K030LA15 ,  5F058BA06 ,  5F058BA09 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BC04 ,  5F058BF02 ,  5F058BF06 ,  5F058BF27 ,  5F058BF29 ,  5F058BF36 ,  5F058BF38 ,  5F058BF40
引用特許：
審査官引用 (10件)
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引用文献：
審査官引用 (3件)

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