特許
J-GLOBAL ID：201403086207002124
測定対象物の厚さ計測方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-121202
公開番号（公開出願番号）：特開2014-238341
出願日： 2013年06月07日
公開日（公表日）： 2014年12月18日
要約：
【課題】測定対象物の厚みを計測する方法を提供する。【解決手段】光源10から測定対象物を透過する波長を有する測定光を出力し、コリメータ12を移動させて、コリメータ12から出力した測定光を測定対象物の第1主面120aの計測位置へ出射し、第1主面120a及び対向する第2主面120bからの反射光をコリメータ12へ入射し、コリメータ12からの反射光を受光素子41に入射し、受光素子41に入射された光の強度を取得し、受光素子41に入射された光の波長を掃引し、取得した光の強度及び掃引した光の波長を用いて、波長に依存した強度分布であって第1主面120a及び第2主面120bからの反射光の強度分布である干渉強度分布を測定し、干渉強度分布をフーリエ変換して得られる波形に基づいて前記測定対象物の厚さを前記測定対象物に非接触に計測する、ことを含む計測方法が提供される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
第1主面及び前記第1主面に対向する第2主面を有する測定対象物の厚さを計測する方法であって、
光源から前記測定対象物を透過する波長を有する測定光を出力する第1のステップと、
コリメータ又はフォーカサーを移動させて、前記コリメータ又はフォーカサーから前記出力した測定光を前記測定対象物の第1主面の計測位置へ出射し、前記第1主面及び前記第2主面からの反射光を前記コリメータ又はフォーカサーへ入射する第2のステップと、
前記コリメータ又はフォーカサーからの反射光を受光素子に入射し、前記受光素子に入射された光の強度を取得し、前記受光素子に入射された光の波長を掃引する第3のステップと、
前記取得した光の強度及び前記掃引した光の波長を用いて、波長に依存した強度分布であって前記第1主面及び前記第2主面からの反射光の強度分布である干渉強度分布を測定する第4のステップと、
前記干渉強度分布をフーリエ変換して得られる波形に基づいて前記測定対象物の厚さを前記測定対象物に非接触に計測する第5のステップと、
を含むことを特徴とする計測方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (21件)：
2F065AA30
, 2F065BB22
, 2F065CC02
, 2F065CC19
, 2F065FF52
, 2F065GG05
, 2F065GG07
, 2F065JJ17
, 2F065JJ18
, 2F065LL00
, 2F065LL02
, 2F065LL21
, 2F065LL67
, 2F065PP01
, 2F065PP05
, 2F065PP22
, 2F065QQ00
, 2F065QQ16
, 2F065QQ17
, 2F065QQ29
, 2F065QQ33
