特許
J-GLOBAL ID:201403093272192077
光偏向器
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-026359
公開番号(公開出願番号):特開2014-153703
出願日: 2013年02月14日
公開日(公表日): 2014年08月25日
要約:
【課題】ミラー部を大きい偏向角度で駆動した場合においてもミラー部を駆動させる圧電素子の特性の悪化を抑制可能とする光偏向器を提供する。【解決手段】光偏向器1は、フレーム部3と、フレーム部3に一端側が固定され、他端側が自由端であるアーム部5と、アーム部5の自由端側に一端側が接続された捩りばね部10と、捩りばね部10の他端側に接続されたミラー部9と、を備え、アーム部5は、フレーム部3に固定された一端側であってアーム部5を駆動する圧電素子15が形成された能動領域5aと、自由端側であって圧電素子15が形成されていない受動領域5bと、を有して構成されている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
フレーム部と、
前記フレーム部に一端側が固定され、他端側が自由端であるアーム部と、
前記アーム部の自由端側に一端側が接続された捩りばね部と、
前記捩りばね部の他端側に接続されたミラー部と、
を備え、
前記アーム部は、
前記フレーム部に固定された前記一端側であって前記アーム部を駆動する圧電素子が形成された能動領域と、
前記自由端側であって前記圧電素子が形成されていない受動領域と、
を有して構成されていることを特徴とする光偏向器。
IPC (4件):
G02B 26/10
, G02B 26/08
, B81B 3/00
, H04N 1/113
FI (4件):
G02B26/10 104Z
, G02B26/08 E
, B81B3/00
, H04N1/04 104Z
Fターム (32件):
2H045AB06
, 2H045AB10
, 2H045AB38
, 2H045AB81
, 2H141MA12
, 2H141MB23
, 2H141MB24
, 2H141MD12
, 2H141MD16
, 2H141MD20
, 2H141MD23
, 2H141MD24
, 2H141MF08
, 2H141MG04
, 2H141MG07
, 2H141MZ06
, 2H141MZ16
, 2H141MZ24
, 3C081AA01
, 3C081BA28
, 3C081BA44
, 3C081BA47
, 3C081BA55
, 3C081EA08
, 3C081EA11
, 3C081EA14
, 5C072AA03
, 5C072BA20
, 5C072HA02
, 5C072HA14
, 5C072XA01
, 5C072XA05
引用特許:
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