特許
J-GLOBAL ID:201203059359631877
光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
鈴木 誠
, 大浦 一仁
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-183137
公開番号(公開出願番号):特開2012-042666
出願日: 2010年08月18日
公開日(公表日): 2012年03月01日
要約:
【課題】小型で駆動効率がよく、大振幅が得られ、さらに動的変形が低減でき、温度上昇による共振周波数の変動の低減が可能な光偏向器を提供する。【解決手段】固定ベース50、光反射面を有するミラー部10、該ミラー部10を内部枠部材20を介して揺動可能に支持する一対の弾性支持部材30a,30b、及び一対の駆動梁40a,40bを備え、該一対の駆動梁40a,40bは、ミラー部10と内部枠部材20と一対の弾性支持部材30a,30bを固定ベース40に対して片持ち支持する。内部枠部材20とミラー部10は、該ミラー部10の中心に対して放射状に配置した複数の連結部材22で接続し、且つ、一対の弾性支持部材30a,30bと内部枠部材20の接続点の延長線上には連結部材22を配置しないようにする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
固定ベースと、光反射面を有するミラー部と、前記ミラー部を囲う内部枠部材と、前記内部枠部材と前記ミラー部を接続する複数の連結部材と、前記ミラー部を前記内部枠部材を介して揺動可能に支持する一対の弾性支持部材と、梁状部材に圧電部材が固着された一対の駆動梁とを有し、
前記弾性支持部材の長手方向と前記駆動梁の長手方向とが略直交して配置されて、両者が接続され、前記駆動梁の他端は固定ベースに固定されて、一対の前記駆動梁で、前記ミラー部と前記内部枠部材と一対の前記弾性支持部材とが前記固定ベースに対して片持ち支持され、
前記駆動梁が曲げ振動することで、前記弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記ミラー部が前記内部枠部材と一体に回転振動することを特徴とする光偏向器。
IPC (2件):
FI (2件):
G02B26/10 104Z
, H04N1/04 104Z
Fターム (19件):
2H045AB06
, 2H045AB10
, 2H045AB13
, 2H045AB24
, 2H045AB26
, 2H045AB38
, 2H045AB72
, 2H045AB81
, 2H045BA02
, 2H045BA12
, 2H045BA24
, 5C072AA03
, 5C072BA05
, 5C072BA12
, 5C072BA13
, 5C072HA01
, 5C072HA02
, 5C072HA14
, 5C072XA05
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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