特許

J-GLOBAL ID：201403093622787761

ゲッターポンプ

発明者： 間瀬 一彦 ,  菊地 貴司
出願人/特許権者： 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構
代理人 (2件)： 杉村 憲司 ,  岡野 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-276912
公開番号（公開出願番号）：特開2014-118940
出願日： 2012年12月19日
公開日（公表日）： 2014年06月30日
要約：

【課題】フランジの厚み方向の長さを低減し、ゲッターポンプの配置場所の自由度を向上させることができるゲッターポンプを提供する。【解決手段】非貫通穴11を有する真空フランジ10と、線状の加熱部材20と、線状の加熱部材20を貫通させる貫通穴31を有するドーナツ状の複数の非蒸発ゲッター材30と、を有し、線状の加熱部材20を貫通させた複数の非蒸発ゲッター材30を、真空フランジ10の非貫通穴11の底面12に沿って同一平面上に配置することを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

非貫通穴を有する真空フランジと、 線状の加熱部材と、 前記線状の加熱部材を貫通させる貫通穴を有するドーナツ状の複数の非蒸発ゲッター材と、 を有し、 前記線状の加熱部材を貫通させた複数の非蒸発ゲッター材を、前記真空フランジの前記非貫通穴の底面に沿って同一平面上に配置することを特徴とするゲッターポンプ。

IPC (2件)：

F04B 37/02 ,  F04B 37/16

FI (2件)：

F04B37/02 A ,  F04B37/16 C

Fターム (4件)：

3H076AA24 ,  3H076BB38 ,  3H076CC52 ,  3H076CC99

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ゲッタポンプモジュール及びシステム
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平8-519076   出願人：セイスピュアガスインコーポレイテッド
• 非蒸発型ゲッターポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-195658   出願人：有限会社真空実験室