特許
J-GLOBAL ID：201403099489901406

自動教示システム及び教示方法

発明者：
斎藤 雅行

斎藤 雅行 について


出願人/特許権者：
川崎重工業株式会社

川崎重工業株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人 有古特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-288150
公開番号（公開出願番号）：特開2014-128855
出願日： 2012年12月28日
公開日（公表日）： 2014年07月10日
要約：
【課題】 コストを抑制しつつ基板搬送ロボットの基板の搬送位置を簡単且つ精度良く教示することを目的とする。【解決手段】自動教示システム100は、基板の目標位置に対応して配置され、マーキング15を有するターゲット治具3と、基板を模擬した形状を有し、ハンド7に保持される、マーキング15を映すための第1及び第2の反射鏡を含む位置検出用ウェハ4と、基板搬送ロボット2に設けられ、位置検出用ウェハ4の2つの反射鏡からなる鏡ユニット12のそれぞれに映るマーキング15を撮像するカメラ5と、カメラ5により撮像された第1及び第2の反射鏡のそれぞれの撮像画像においてマーキング15が所定の態様になるようにハンド7の位置を調整したときの当該ハンド7の位置を教示する制御装置6とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板を載置すべき基板の目標位置に基板を搬送するロボットのハンドの位置を自動的に教示する自動教示システムであって、 前記基板の目標位置に対応して配置され、マーキングを有するターゲット治具と、 前記基板を模擬した形状を有し、前記ハンドの基板保持部に保持される、前記マーキングを映すための第1及び第2の反射鏡を含む位置検出用治具と、 前記ロボットに設けられ、前記位置検出用治具の第1及び第2の反射鏡に映る前記マーキングを撮像するカメラと、 前記カメラにより撮像された前記第1及び第2の反射鏡のそれぞれの撮像画像において前記マーキングが所定の態様になるように前記ハンドの位置を調整したときの当該ハンドの位置を教示する制御装置と、を備える、自動教示システム。
IPC (3件)：
B25J 9/22 ,  B25J 13/08 ,  H01L 21/677
FI (3件)：
B25J9/22 A ,  B25J13/08 A ,  H01L21/68 A
Fターム (36件)：
3C707AS03 ,  3C707AS24 ,  3C707BS15 ,  3C707ES17 ,  3C707JU03 ,  3C707KS03 ,  3C707KS04 ,  3C707KS05 ,  3C707KT01 ,  3C707KT05 ,  3C707KT18 ,  3C707LS05 ,  3C707NS12 ,  5F131AA02 ,  5F131CA32 ,  5F131CA70 ,  5F131DA08 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB12 ,  5F131DB52 ,  5F131DB62 ,  5F131DB78 ,  5F131DB82 ,  5F131DD03 ,  5F131DD26 ,  5F131DD43 ,  5F131DD76 ,  5F131KA14 ,  5F131KA52 ,  5F131KB07 ,  5F131KB12 ,  5F131KB54 ,  5F131KB55 ,  5F131KB58
引用特許：
審査官引用 (9件)
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