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J-GLOBAL ID：201502204278831145   整理番号：15A1056460

多結晶およびエピタキシャルCr(N,O)薄膜の電気抵抗率の酸素含有量依存性

著者 (6件)： 長澤忍 (長岡技科大 極限エネルギー密度工学研究セ) ,  鈴木知真 (長岡技科大 極限エネルギー密度工学研究セ) ,  鈴木常生 (長岡技科大 極限エネルギー密度工学研究セ) ,  中山忠親 (長岡技科大 極限エネルギー密度工学研究セ) ,  末松久幸 (長岡技科大 極限エネルギー密度工学研究セ) ,  新原晧一 (長岡技科大 極限エネルギー密度工学研究セ)
資料名： 日本金属学会講演概要(CD-ROM)  (Collected Abstracts of Spring Meeting of the Japan Institute Metals and Materials (CD-ROM))
巻： 157th  ページ： ROMBUNNO.P84  発行年： 2015年09月02日 
JST資料番号： S0988B  ISSN： 2433-3093  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 基板 ,  ケイ素 ,  酸化マグネシウム ,  *酸化物 ,  *窒化物 ,  *クロム化合物 ,  *パルスレーザ蒸着 ,  窒素 ,  酸素 ,  エピタクシー ,  *薄膜 ,  *化学蒸着 ,  *電気抵抗率 ,  *化学組成 ,  温度依存性
準シソーラス用語： エピタキシャル成長 ,  酸窒化クロム ,  *反応性蒸着

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 多結晶 ,  エピタキシャル ,  Cr ,  薄膜 ,  電気抵抗率 ,  酸素 ,  含有量依存性