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J-GLOBAL ID：201502207899207754   整理番号：15A1096477

ステージロール運動誤差計測用高分解能クリノメータに関する研究

著者 (6件)： 片岡智史 (東北大) ,  石川龍弥 (東北大) ,  CHEN Yuan-Liu (東北大) ,  清水裕樹 (東北大) ,  伊東聡 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2015  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.O16  発行年： 2015年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 精密リニアステージのRolling姿勢角を計測するための高分解能クリノメータを開発した。高分解能ロータリエンコーダを搭載した精密エアスピンドル用いてクリノメータの感度と線形誤差を定量的に評価した。また,開発したクリノメータをリニアステージに搭載し,Rolling姿勢角計測を行い,その有効性について実験的に検証した。(著者抄録)

シソーラス用語： *高分解能 ,  *傾斜計 ,  *測定誤差 ,  *回転 ,  *姿勢 ,  精密測定 ,  回転角 ,  *センサ ,  スピンドル ,  感度 ,  定量的分析 ,  有効性 ,  実証実験 ,  長さ ,  工作機械 ,  位置決め ,  工作精度 ,  測定精度
準シソーラス用語： *クリノメータ ,  *姿勢角 ,  *ロータリーエンコーダ ,  ストローク【長さ】

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (6件)： ステージ ,  ロール ,  計測 ,  高分解能 ,  クリノメータ ,  研究