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J-GLOBAL ID：201502259861392069   整理番号：15A0506581

放射光光電子分光法によるn-GaN上Al/Tiコンタクトの界面反応分析

著者 (11件)： 伊藤丈予 (大阪大 大学院) ,  淺原亮平 (大阪大 大学院) ,  野崎幹人 (大阪大 大学院) ,  中澤敏志 (パナソニック) ,  石田昌宏 (パナソニック) ,  上田哲三 (パナソニック) ,  吉越章隆 (原子力機構) ,  寺岡有殿 (原子力機構) ,  細井卓治 (大阪大 大学院) ,  志村考功 (大阪大 大学院) ,  渡部平司 (大阪大 大学院)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 62nd  ページ： ROMBUNNO.12A-A21-11  発行年： 2015年02月26日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *窒化ガリウム ,  エピタクシー ,  *Ohm接触 ,  *アルミニウム ,  *チタン ,  *熱処理 ,  不均一系反応 ,  *シンクロトロン放射 ,  半導体金属接合 ,  電極 ,  積層構造 ,  *内殻準位 ,  *光電子スペクトル ,  界面反応

分類 (2件)： 半導体-金属接触  (BM03084G) ,  電子分光スペクトル  (BM09060K)

タイトルに関連する用語 (8件)： 放射光 ,  光電子分光法 ,  GaN ,  Al ,  Ti ,  コンタクト ,  界面反応 ,  分析