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J-GLOBAL ID：201502273164638087   整理番号：15A0533035

自己相関型周波数領域低コヒーレンス干渉計による半導体基板温度測定の堅固な特性

Robust characteristics of semiconductor-substrate temperature measurement by autocorrelation-type frequency-domain low-coherence interferometry

著者 (8件)： TSUTSUMI Takayoshi (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  OHTA Takayuki (Meijo Univ., Nagoya, JPN) ,  ISHIKAWA Kenji (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TAKEDA Keigo (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  KONDO Hiroki (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  SEKINE Makoto (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  HORI Masaru (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  ITO Masafumi (Meijo Univ., Nagoya, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 54  号： 1S  ページ： 01AB03.1-01AB03.5  発行年： 2015年01月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 参照ミラーを持たない自己相関型周波数領域低コヒーレンス干渉計(ACT-FD-LCI)システムの堅固な特性を,従来の参照ミラーを持つ周波数領域低コヒーレンス干渉計(FD-LCI)システムの特性と詳細に比較した。光学経路長の測定から得られた550°C以下での480μmの典型的な厚さに対する温度測定の標準偏差は,0.04°C以下であった。従来の参照ミラーを持つFD-LCIシステムにおける精度0.28°Cと比較して,擾乱に対する性能の堅固性が著しく改善された。特に,参照ミラーの除去により,ACT-FD-LCIシステムは,分散や信号光の偏光の変化による擾乱に対して大きな耐性を持つことが確認できた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 自己相関 ,  周波数領域 ,  コヒーレンス ,  半導体 ,  *基板温度 ,  *干渉測定 ,  雑音安定度 ,  *温度測定
準シソーラス用語： 雑音耐性

分類 (1件)： 温度測定,温度計  (AD06010K)

引用文献 (31件)：

• H. Sugai, K. Nakamura, Y. Hikosaka, and M. Nakamura, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 887 (1995).
• M. Schaepkens, R. C. M. Bosch, T. E. F. M. Standaert, G. S. Oehrlein, and J. M. Cook, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 2099 (1998).
• H. Oshio, T. Ichiki, and Y. Horiike, J. Electrochem. Soc. 147, 4273 (2000).
• T. Belmonte, L. Lefevre, T. Czerwiec, H. Michel, and A. Ricard, Thin Solid Films 341, 27 (1999).
• A. L. Myerson, J. Chem. Phys. 50, 1228 (1969).

タイトルに関連する用語 (6件)： 自己相関 ,  周波数領域 ,  コヒーレンス ,  干渉計 ,  半導体基板 ,  温度測定