検査装置及び検査方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：吉竹英俊 , 有田貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-028573
公開番号（公開出願番号）：特開2015-152519
出願日： 2014年02月18日
公開日（公表日）： 2015年08月24日
要約：

【課題】フォトデバイスにおける深さ方向の各部分を適切に検査する技術を提供する。【解決手段】検査装置100は、波長が相違する複数のパルス光LP11、LP21およびLP31を出射して多接合型太陽電池90に照射する照射部12と、照射部12が照射する複数のパルス光LP11、LP21、LP31の波長を設定する波長設定部27と、照射部12によって照射された複数のパルス光LP11、LP21、LP31に応じて、多接合型太陽電池90から放射される電磁波LT11、LT21、LT31の電界強度を検出する検出部13とを備える。照射部12は、パルス光LP21が多接合型太陽電池90に照射される時間を、パルス光LP11に対して時間Δt11遅らせる遅延素子35を備えている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

フォトデバイスを検査する検査装置であって、波長が相違する複数の光を出射してフォトデバイスに照射する照射部と、前記照射部が照射する前記複数の光の波長を設定する設定部と、前記照射部によって照射された前記複数の光に応じて、前記フォトデバイスから出射される電磁波の電界強度を検出する検出部と、を備える、検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/64 , G01M 11/00 , H01L 21/66 , H02S 50/10

FI (4件)：

G01N21/64 Z , G01M11/00 T , H01L21/66 C , H02S50/10

Fターム (30件)：

2G043AA03 , 2G043CA07 , 2G043DA05 , 2G043EA01 , 2G043FA01 , 2G043FA03 , 2G043FA06 , 2G043HA02 , 2G043HA05 , 2G043HA09 , 2G043HA15 , 2G043JA02 , 2G043KA01 , 2G043KA02 , 2G043KA05 , 2G043KA08 , 2G043KA09 , 2G043LA01 , 2G043LA03 , 2G043NA01 , 2G043NA06 , 2G086EE03 , 2G086EE04 , 4M106AA20 , 4M106BA04 , 4M106BA20 , 4M106CA17 , 4M106DE20 , 5F151DA15 , 5F151KA09

引用特許：

出願人引用 (3件)

検査装置および検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-155665 出願人：大日本スクリーン製造株式会社, 国立大学法人大阪大学
検査方法および検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-199309 出願人：大日本スクリーン製造株式会社, 国立大学法人大阪大学
半導体デバイスの故障診断方法と装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-202019 出願人：独立行政法人理化学研究所, NECエレクトロニクス株式会社

審査官引用 (3件)

検査装置および検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-155665 出願人：大日本スクリーン製造株式会社, 国立大学法人大阪大学
検査方法および検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-199309 出願人：大日本スクリーン製造株式会社, 国立大学法人大阪大学
半導体デバイスの故障診断方法と装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-202019 出願人：独立行政法人理化学研究所, NECエレクトロニクス株式会社

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