特許
J-GLOBAL ID：201503000727210566
加速度センサー構造体およびその用途
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
高島 一
, 土井 京子
, 鎌田 光宜
, 田村 弥栄子
, 村田 美由紀
, 小池 順造
, 當麻 博文
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-551657
公開番号（公開出願番号）：特表2015-503758
出願日： 2013年01月11日
公開日（公表日）： 2015年02月02日
要約：
第一の手段および第二の手段を有するMEMSセンサー構造体であって、該手段は、二重差動検出のために連結され、かつ、位相シフトの二重差動検出のための量を提供するように、対称に配置されている。センサーが変形するならば、第一および第二の手段の特定の対称的な配置けに起因して、変位の影響が少なくとも部分的に消去される。【選択図】図12
請求項（抜粋）：
MEMSセンサー構造体であって:
当該MEMSセンサー構造体は、第一の手段を有し、該第一の手段は、検出可能な量が差動的に連結された第一のペアを提供するためのものであり、前記検出可能な量は、第一の位置における減少する第一の量と、第二の位置における増加する第二の量とを含んでおり、これら第一の量と第二の量は、前記の減少することと増加することが同じ作動によって生じるように、互いに連結されており、
当該MEMSセンサー構造体は、第二の手段を有し、該第二の手段は、量が差動的に連結された第二のペアを提供するためのものであり、該量は、第三の位置における減少する第三の量と、第四の位置における増加する第四の量とを含んでおり、これら第三の量と第四の量は、前記の減少することと増加することが同じ作動によって生じるように、互いに連結されており、
前記第一の手段と前記第二の手段が、二重差動検出のために連結されており、かつ、位相シフトにおける二重差動検出のための量を生成するように、対称的に位置決めされている、
前記MEMSセンサー構造体。
IPC (3件)：
G01P 15/125
, G01P 15/18
, G01P 15/08
G01P15/125 Z
, G01P15/18
, G01P15/08 101D
