特許
J-GLOBAL ID:201003008424602261

閉ループ線形駆動加速度計を用いて面外線形加速度を検出するためのシステムおよび方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 小野 新次郎 ,  社本 一夫 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  西山 文俊
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-128940
公開番号(公開出願番号):特開2010-038903
出願日: 2009年05月28日
公開日(公表日): 2010年02月18日
要約:
【課題】面外線形加速度を感知するシステムおよび方法を提供する。ロータおよびステータ間の力の非線形的変化を最小化するように、ステータに対するロータの運動を実質的に防ぎ、および/または、制御する。【解決手段】例示の実施形態において、面外線形加速度計100は面外方向に加速され、この加速度は不平衡プルーフマス102に回転トルクを発生させる。リバランシング力が、複数の交互配置されたロータ櫛歯116、120およびステータ櫛歯124、126の少なくとも1つに加えられ、このリバランシング力は回転トルクに対抗し、ロータ櫛歯は不平衡プルーフマス102の端部に配置され、ステータ櫛歯は不平衡プルーフマスの端部に隣接したステータ104、106の上に配置される。次いで、加速度の大きさが、加えられたリバランシング力に基づいて求められる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
第1の質量により規定される第1のプルーフマス部分(130)および前記第1の質量とは異なる第2の質量により規定される第2のプルーフマス部分(132)を備えた不平衡プルーフマス(102)と、 前記不平衡プルーフマスの第1の端部の複数の第1のプルーフマス櫛歯(116)と、 前記複数の第1のプルーフマス櫛歯と交互配置され、前記複数の第1のプルーフマス櫛歯からオフセットされた複数の第1のステータ櫛歯(124)と、 前記不平衡プルーフマスの第2の端部の複数の第2のプルーフマス櫛歯(120)と、 前記複数の第2のプルーフマス櫛歯と交互配置され、前記複数の第2のプルーフマス櫛歯からオフセットされた複数の第2のステータ櫛歯(126)と、 前記不平衡プルーフマスを固定具(112)に結合するように構成され、前記第1のプルーフマス部分と前記第2のプルーフマス部分との間に回転軸を画定するように構成された少なくとも1つのたわみ部材(114)と、回転トルクは前記回転軸(110)の周りにあり、 前記複数の交互配置された第1のプルーフマス櫛歯および第1のステータ櫛歯、ならびに、前記複数の交互配置された第2のプルーフマス櫛歯および第2のステータ櫛歯のうちの少なくとも1つに、リバランシング力を加えるように動作可能なコントローラ(400)と、を備え、 前記リバランシング力は、前記不平衡プルーフマスの面外加速度に応答して発生された前記不平衡プルーフマスの回転トルクに対抗し、前記コントローラは、前記加えられたリバランシング力に基づいて加速度の大きさを求めるように動作可能である、 を備えた閉ループ線形駆動加速度計(100)。
IPC (1件):
G01P 15/13
FI (1件):
G01P15/13 B
引用特許:
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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