特許

J-GLOBAL ID：201503001307600382

ブロックコポリマーのアニール方法およびブロックコポリマーから製造する物品

発明者： シー-ウェイ・チャン ,  ジョン・グン・パク ,  ピーター・トレフォナス・サード ,  ジョン・ダブリュ・クラマー ,  エリン・ビー・フォーゲル ,  フィリップ・ディー・フスタッド
出願人/特許権者： ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシー ,  ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー
代理人 (1件)： 特許業務法人センダ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-237198
公開番号（公開出願番号）：特開2015-129261
出願日： 2014年11月21日
公開日（公表日）： 2015年07月16日
要約：

【課題】改良されたナノリソグラフィのパターニングに使用される、ポリアルキルスチレン-ポリシロキサンブロック共重合体を提供する。【解決手段】芳香環に少なくとも1つのアルキル置換基を有するビニル芳香族モノマーから誘導された第一のブロックと、シロキサンモノマーから誘導された第二のブロックと、を含むブロック共重合体。第一のブロックと第二のブロックとの相互作用を決定するχパラメータは、温度200°Cで0.03〜0.18である、ブロック共重合体。第一のブロックを形成し、更に、第一のブロックに第二のブロックを重合して、ブロック共重合体を形成する方法であって、第二のブロックは、シロキサンモノマーの重合によって誘導される、ブロック共重合体の製造方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

ビニル芳香族モノマーが、芳香環に少なくとも1つのアルキル置換基を有するビニル芳香族モノマーから誘導された第一のブロックと、 シロキサンモノマーから誘導された第二のブロックと、 を含み、前記第一のブロックと前記第二のブロックとの相互作用を決定するχパラメータは、温度200°Cで0.03〜0.18であるブロック共重合体。

IPC (3件)：

C08G 77/442 ,  C08J 7/00 ,  C08G 81/02

FI (4件)：

C08G77/442 ,  C08J7/00 301 ,  C08J7/00 ,  C08G81/02

Fターム (32件)：

4F073AA29 ,  4F073BA19 ,  4F073BA33 ,  4F073BB01 ,  4F073GA01 ,  4J031AA13 ,  4J031AA59 ,  4J031AB01 ,  4J031AC01 ,  4J031AC13 ,  4J031AD01 ,  4J031AE15 ,  4J031AF26 ,  4J246AA03 ,  4J246AB02 ,  4J246BA020 ,  4J246BA02X ,  4J246BB020 ,  4J246BB022 ,  4J246BB02X ,  4J246CA240 ,  4J246CA24E ,  4J246CA24X ,  4J246EA03 ,  4J246FA291 ,  4J246FA431 ,  4J246FA551 ,  4J246FA792 ,  4J246GA01 ,  4J246GD08 ,  4J246HA61 ,  4J246HA69

引用特許：

審査官引用 (9件)

• 特開昭53-072100
  
• 重合体組成物及びナノオーダーパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-200723   出願人：JSR株式会社
• 特開昭53-072100
  
• 特公昭47-013061
  
• 特開昭52-044897
  
• 電子写真感光体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-193849   出願人：富士ゼロックス株式会社
• 自己組織化構造、その製造方法、およびそれを含む物品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-022794   出願人：ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー., ダウグローバルテクノロジーズエルエルシー
• 特開昭53-072100
  
• ブロックコポリマーのアニール方法およびブロックコポリマーから製造する物品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2019-191964   出願人：ロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズエルエルシー, ダウグローバルテクノロジーズエルエルシー

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Characterization of p-t-butylstyrene-dimethylsiloxane triblock copolymers in solution