特許
J-GLOBAL ID：201503002766834546
エアロゾル粒子の粒径を特定する方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
岡部 讓
, 吉澤 弘司
, 三村 治彦
, 久保田 智樹
, 岡部 洋
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-526847
公開番号（公開出願番号）：特表2015-530568
出願日： 2013年06月12日
公開日（公表日）： 2015年10月15日
要約：
本発明は、エアロゾル粒子の粒径分布を特定する方法及び装置1に関する。本方法は、被変調エアロゾル粒子ビームを生成するために変調関数によって制御されるエアロゾル粒子ゲート2を用いてエアロゾル粒子ビーム6を変調するステップと、ドリフト領域3を通るように前記被変調エアロゾル粒子ビームを誘導するステップと、前記被変調エアロゾル粒子ビームが前記ドリフト領域3を通り抜けた後に、前記被変調エアロゾル粒子ビームの信号を測定するステップと、前記エアロゾル粒子の前記粒径分布を特定するために前記変調関数と前記信号との相関を計算するステップとを含む。本装置1は、エアロゾル粒子ビーム6から被変調エアロゾル粒子ビームを生成するために変調関数によって制御されるエアロゾル粒子ゲート2と、前記被変調エアロゾル粒子ビームが通るように誘導可能なドリフト領域3と、前記被変調エアロゾル粒子ビームが前記ドリフト領域3を通り抜けた後に、前記被変調エアロゾル粒子ビームの信号を測定可能な検出器4と、前記エアロゾル粒子の前記粒径分布を特定するために、前記変調関数と前記信号との相関を計算可能な計算ユニット5とを備える。【選択図】図1a
請求項（抜粋）：
エアロゾル粒子粒径分布を特定する方法であって、
a.被変調エアロゾル粒子ビームを生成するために変調関数によって制御されるエアロゾル粒子ゲート(2)を用いてエアロゾル粒子ビーム(6)を変調するステップと、
b.ドリフト領域(3)を通るように前記被変調エアロゾル粒子ビームを誘導するステップと、
c.前記被変調エアロゾル粒子ビームが前記ドリフト領域(3)を通り抜けた後に、前記被変調エアロゾル粒子ビームの信号を測定するステップと、
d.前記エアロゾル粒子の前記粒径分布を特定するために前記変調関数と前記信号との相関を計算するステップと、
を含む、エアロゾル粒子粒径分布を特定する方法。
IPC (3件)：
G01N 15/02
, H01J 49/40
, G01N 27/62
G01N15/02 D
, H01J49/40
, G01N27/62 V
2G041CA01
, 2G041EA05
, 2G041GA06
, 2G041HA05
