特許
J-GLOBAL ID：201503003467447965

切削方法

発明者：
増地 純郎

増地 純郎 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 松本 昂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-125469
公開番号（公開出願番号）：特開2015-002236
出願日： 2013年06月14日
公開日（公表日）： 2015年01月05日
要約：
【課題】 アップカットにおいて被加工物の表面に発生するチッピングを抑制可能な切削方法を提供することである。【解決手段】 被加工物を切削ブレードで切削する切削方法であって、被加工物を保持手段で保持する保持ステップと、回転する切削ブレードを所定高さに位置付けるとともに被加工物を保持する該保持手段と該切削ブレードとを相対移動させて該切削ブレードで被加工物を切削する切削ステップと、少なくとも該切削ブレードの周囲において被加工物を上方から押圧する押圧水を噴出する押圧ステップと、を備え、該切削ステップでは、該切削ブレードの回転方向は、切削点において該切削ブレードに対する該保持手段の相対移動方向と反対方向であり、該押圧ステップで被加工物を押圧水で上方から押圧しながら、切削点において該切削ブレードを下から上に回転させて被加工物を切削することを特徴とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
被加工物を切削ブレードで切削する切削方法であって、 被加工物を保持手段で保持する保持ステップと、 回転する切削ブレードを所定高さに位置付けるとともに被加工物を保持する該保持手段と該切削ブレードとを相対移動させて該切削ブレードで被加工物を切削する切削ステップと、 少なくとも該切削ブレードの周囲において被加工物を上方から押圧する押圧水を噴出する押圧ステップと、を備え、 該切削ステップでは、該切削ブレードの回転方向は、切削点において該切削ブレードに対する該保持手段の相対移動方向と反対方向であり、該押圧ステップで被加工物を押圧水で上方から押圧しながら、切削点において該切削ブレードを下から上に回転させて被加工物を切削することを特徴とする切削方法。
IPC (1件)：
H01L 21/301
FI (1件)：
H01L21/78 F
Fターム (5件)：
5F063AA05 ,  5F063BA32 ,  5F063CA04 ,  5F063DD10 ,  5F063FF38
引用特許：
審査官引用 (4件)
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