特許
J-GLOBAL ID：201503003702826618
薬液容器交換装置及び基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井上 俊夫
, 瀧澤 宣明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-216524
公開番号（公開出願番号）：特開2015-079875
出願日： 2013年10月17日
公開日（公表日）： 2015年04月23日
要約：
【課題】人手を介さずに薬液容器の交換をすることが可能で作業者の負担が軽減でき、薬液の変質、パーティクル汚染を抑えることができる薬液容器交換装置を提供する。【解決手段】薬液容器3が配置される複数の容器保持体2を薬液容器3の交換位置P13を含む周回軌道に沿って配置している。そして使用済みの薬液容器が載置された容器保持体2を駆動機構により周回軌道に沿って交換位置P13まで移動させ、移載機構を用いて交換位置P13にある使用済みの薬液容器と新たな薬液容器との交換を行っている。さらに薬液供給路の着脱動作もノズル着脱機構により実行することで、薬液容器3の配置、交換領域を閉鎖的な領域にする。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
薬液供給路の基端側が装着された薬液容器を各々保持し、薬液容器の交換位置を含む周回軌道に沿って配置された複数の容器保持体と、
前記複数の容器保持体を周回軌道に沿って移動させる搬送機構と、
前記容器保持体に保持される薬液容器に前記薬液供給路の基端側を着脱するための供給路着脱機構と、
薬液が貯留されている新たな薬液容器を搬入し、使用済みの薬液容器を搬出するための搬入出ポートと、
前記交換位置に停止している容器保持体内の使用済みの薬液容器を前記搬入出ポートに移載し、前記搬入出ポートに載置された新たな薬液容器を当該容器保持体内に移載するための移載機構と、を備えたことを特徴とする薬液容器交換装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/30 564
, H01L21/30 569
5F146JA01
, 5F146JA27
, 5F146LA03
, 5F146LA19
