特許
J-GLOBAL ID：201203037839859866
基板処理システム、管理装置、及びデータ解析方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人アイ・ピー・エス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-046633
公開番号（公開出願番号）：特開2012-186213
出願日： 2011年03月03日
公開日（公表日）： 2012年09月27日
要約：
【課題】モニタデータの解析を要する異常(例えば、成膜異常)について監視するために、最適なコンテンツを作成する仕組みを提供する。【解決手段】基板処理システムは、基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置から送信される測定データを蓄積する蓄積手段と、前記基板処理装置の稼動状態に関する前記測定データの項目、前記測定データに適用する統計量の種類、及び前記統計量の判定に用いる条件をそれぞれ個別に記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前記測定データの項目、前記統計量、及び前記条件からなる組み合わせについて、前記蓄積手段に蓄積された前記測定データが異常と判断される組み合わせを抽出する抽出手段と、を備えた管理装置と、を含む。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板を処理する基板処理装置と、
前記基板処理装置から送信される測定データを蓄積する蓄積手段と、
前記基板処理装置の稼動状態に関する前記測定データの項目、前記測定データに適用する統計量の種類、及び前記統計量の判定に用いる条件をそれぞれ個別に記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された前記測定データの項目、前記統計量、及び前記条件からなる組み合わせについて、前記蓄積手段に蓄積された前記測定データが異常と判断される組み合わせを抽出する抽出手段と、
を備えた管理装置と、
を含む基板処理システム。
IPC (5件)：
H01L 21/02
, H01L 21/027
, H01L 21/31
, H01L 21/205
, H01L 21/677
H01L21/02 Z
, H01L21/30 502G
, H01L21/30 562
, H01L21/31 B
, H01L21/205
, H01L21/68 A
5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031GA47
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031HA67
, 5F031MA28
, 5F031PA04
, 5F045AA06
, 5F045AA20
, 5F045AB32
, 5F045DP19
, 5F045DP28
, 5F045GB16
, 5F046AA17
, 5F046DD06
, 5F146AA17
, 5F146DD06
