特許
J-GLOBAL ID：201503004232736509

機能素子、電子機器、および移動体

発明者：
田中 悟

田中 悟 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-086583
公開番号（公開出願番号）：特開2015-206652
出願日： 2014年04月18日
公開日（公表日）： 2015年11月19日
要約：
【課題】良好な温度特性を有することができる機能素子を提供する。【解決手段】本発明に係る機能素子100は、凹部12が設けられている基板10と、記基板10の凹部12を規定する壁部13に接続されている固定部30a,30bと、固定部30a,30bから延出し、第1軸方向に伸縮を可能とする弾性部40,44と、弾性部40,44に接続されている可動体20と、可動体20から延出している可動電極部50,52と、基板10に接続され、可動電極部50,52の延出方向と沿うように延出している固定電極部60,62,64,66と、を含み、凹部12は、壁部13に設けられた切り欠き部16を有し、固定部30a,30bは、基板10と離間し、平面視において凹部12と重なっている重なり部32を有し、重なり部32の少なくとも一部は、平面視において切り欠き部16と重なり、弾性部40,44は、重なり部32から延出している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
凹部が設けられている基板と、 前記基板の前記凹部を規定する壁部に接続されている固定部と、 前記固定部から延出し、第1軸方向に伸縮を可能とする弾性部と、 前記弾性部に接続されている可動体と、 前記可動体から延出している可動電極部と、 前記基板に接続され、前記可動電極部の延出方向と沿うように延出している固定電極部と、 を含み、 前記凹部は、前記壁部に設けられた切り欠き部を有し、 前記固定部は、 前記基板と離間し、平面視において前記凹部と重なっている重なり部を有し、 前記重なり部の少なくとも一部は、平面視において切り欠き部と重なり、 前記弾性部は、前記重なり部から延出している、機能素子。
IPC (2件)：
G01P 15/125 ,  H01L 29/84
FI (2件)：
G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z
Fターム (14件)：
4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112CA35 ,  4M112DA05 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA10 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112FA05 ,  4M112GA01
引用特許：
審査官引用 (4件)
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