特許
J-GLOBAL ID：200903060643445288
容量式力学量センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢作 和行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-230354
公開番号（公開出願番号）：特開2004-069562
出願日： 2002年08月07日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：
【課題】基板変形によるオフセット電圧の変動を低減した容量式力学量センサを提供すること。【解決手段】加速度が作用する錘部11に一体成形された可動電極10a,10bと、錘部11を第1半導体層1上に支持する可動部アンカ14と、可動部アンカ14と錘部11との間に設けられ、錘部11に加速度が作用した際、弾性変形することにより可動電極10a,10bを加速度に応じた距離だけ変位させるばね部12とを有する可動部と、可動電極10a,10bに対抗配置された固定電極17a,17bとを備える容量式加速度センサであって、可動部アンカ14とばね部12との間に、第1半導体層1の歪がばね部へ及ぼす影響を低減する歪緩衝ばね部13を設けた。第1半導体層1の歪を歪緩衝ばね部13にて緩和でき、ばね部12に伝達される歪は低減される為、オフセット電圧の変動を低減できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
力学量が作用する錘部と、
この錘部に一体成形された可動電極と、
前記錘部を基板上に支持する可動部アンカと、
前記可動部アンカと前記錘部との間に設けられ、前記錘部に力学量が作用したときに弾性変形して、当該力学量に応じた距離だけ前記可動電極を変位させるばね部と、
前記可動電極に対向するように配置された固定電極とを備え、
前記力学量の印加に応じて生じる前記可動電極の変位を、前記可動電極と前記固定電極間の静電容量の変化として検出する容量式力学量センサにおいて、
前記可動部アンカと前記ばね部との間に、前記基板に歪が生じた際の前記ばね部への影響を低減する歪緩衝部を設けたことを特徴とする容量式力学量センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P15/125 Z
, H01L29/84 Z
4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA01
, 4M112CA21
, 4M112CA23
, 4M112CA32
, 4M112DA03
, 4M112DA04
, 4M112DA18
, 4M112EA03
, 4M112EA06
, 4M112FA03
, 4M112FA05
, 4M112FA09
