特許
J-GLOBAL ID：201503004279789449
気化・堆積装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
園田・小林特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-033688
公開番号（公開出願番号）：特開2013-118402
特許番号：特許第5760017号
出願日： 2013年02月22日
公開日（公表日）： 2013年06月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 a)内部処理領域を画定するチャンバ本体、
内部処理領域内には取り外し可能なチャンバライナーが配置されること、
チャンバライナーは加熱されること、
b)チャンバ本体上に可動に装着されるリッド、
リッドの本体の内部(以下、リッド本体内部という。)は加熱要素を内蔵すること、
リッドの周縁を画定する外方環状壁は下部(以下、リッド周縁下部という。)を有すること、
リッドは冷却チャネルを内蔵すること、
c)ガス・マニホルドを備えたガス分配アセンブリ、
ガス・マニホルドはガス分配プレートに一種類以上のガスを送ること、
ガス分配プレートは対面板にガスを分配する一次分配板と処理すべき基板に対面して基板にガスを分配する対面板を備えること、
ガス・マニホルドはリッド本体内部により加熱されること、
ガス分配アセンブリはリッド上にマウントされて、チャンバ本体に設けられたガス供給部材の出口をシールしてガス供給部材からガス・マニホルドにシールされた流体流を提供すること、
d)チャンバ本体に連結された排気装置、
排気装置はチャンバに取り付けた排気突出部を備えること、
排気突出部のハウジング内はガス経路を画定し、排気突出部のハウジングには排気ポンプに連結された第1のポートが形成されること、
排気突出部内には取り外し可能にライナー(以下、排気ライナーという。)が配置されること、
排気ライナーはヒータにより加熱されること、
を具備する成膜用の処理チャンバ。
IPC (6件)：
H01L 21/31 ( 200 6.01)
, H01L 21/316 ( 200 6.01)
, C23C 16/40 ( 200 6.01)
, C23C 16/448 ( 200 6.01)
, H01L 21/8242 ( 200 6.01)
, H01L 27/108 ( 200 6.01)
H01L 21/31 B
, H01L 21/316 X
, C23C 16/40
, C23C 16/448
, H01L 27/10 651
