特許
J-GLOBAL ID：201503004892997533
窒化珪素焼結体基板及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高石 橘馬
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-507919
特許番号：特許第5729519号
出願日： 2013年03月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】80〜98.3質量%のSi3N4、0.7〜10質量%(酸化物換算)のMg、及び1〜10質量%(酸化物換算)の少なくとも1種の希土類元素を含有し、縦横がそれぞれ100 mm以上で、厚さ0.7 mm以下の窒化珪素焼結体基板を製造する方法であって、
窒化珪素粉末と、Mg及び少なくとも1種の希土類元素を含有する焼結助剤粉末とを混合する工程と、
得られた混合粉末を成形する工程と、
複数枚の得られたグリーンシートを窒化硼素粉末層を介して積層した状態で窒素雰囲気中で焼成する工程とを有し、
(a) 各グリーンシートに10〜600 Paの荷重がかかるように、前記グリーンシートの積層体の上に重し板を配置した状態で前記焼成工程を行い、
(b) 前記焼成工程における温度プロファイルが、1600〜2000°Cの範囲内の温度に保持する第一の温度保持域の後に、1400〜1700°Cの範囲内で、前記第一の温度保持域より低い温度に0.5〜10時間保持する第二の温度保持域を有することを特徴とする方法。
IPC (4件)：
C04B 35/584 ( 200 6.01)
, H05K 1/03 ( 200 6.01)
, H01L 23/373 ( 200 6.01)
, H01L 23/12 ( 200 6.01)
C04B 35/58 102 C
, H05K 1/03 610 D
, H01L 23/36 M
, H01L 23/12 D
