特許
J-GLOBAL ID：201503005318932004

研削装置及び研削方法

発明者：
伊藤 祝子

伊藤 祝子 について

, 
現王園 二郎

現王園 二郎 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (3件)： 川村 恭子 ,  佐々木 功 ,  久保 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-134827
公開番号（公開出願番号）：特開2015-009295
出願日： 2013年06月27日
公開日（公表日）： 2015年01月19日
要約：
【課題】板状ワークを保持する保持テーブルの傾きが変化するのを防ぐ。【解決手段】傾き調整手段によって傾きが調整され回転する保持テーブルに保持された板状ワークを研削手段によって研削する研削装置10において、保持テーブルと基台との間の距離を測定する少なくとも3つの測定部14a〜14cと、各測定部が測定した距離を記憶する記憶部17と、傾き調整手段を制御する制御部16とを備え、傾き調整手段は、保持テーブル12と基台11との間に配設され、保持テーブル12の中心を重心とした正三角形の頂点に配設された3つの支持部13a〜13cを備え、少なくとも1つの支持部13bは、保持テーブル12と基台11との間の距離を変えることが可能であり、制御部16は、保持テーブル12が保持した板状ワーク20を研削手段15が研削している間、測定部14a〜14cが測定した距離と、記憶部17が記憶した距離とが一致するよう、傾き調整手段を制御する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
板状ワークを保持して回転する保持テーブルと、 該保持テーブルが保持した板状ワークを研削する研削手段と、 該保持テーブルの傾きを調整する傾き調整手段と、を少なくとも備えた研削装置であって、 該保持テーブルと基台との間の距離を測定する少なくとも3つの測定部と、 該測定部が測定した距離を記憶する記憶部と、 該傾き調整手段を制御する制御部と、 を備え、 該傾き調整手段は、該保持テーブルと該基台との間に配設され、該保持テーブルの中心を重心とした正三角形の頂点に配設された3つの支持部を備え、 少なくとも1つの支持部は、該保持テーブルと該基台との間の距離を変えることが可能であり、 該制御部は、該保持テーブルが保持した板状ワークを該研削手段が研削している間、該測定部が測定した距離と、該記憶部が記憶した距離とが一致するよう、該傾き調整手段を制御する、 研削装置。
IPC (2件)：
B24B 41/06 ,  B24B 49/02
FI (2件)：
B24B41/06 L ,  B24B49/02 Z
Fターム (3件)：
3C034AA08 ,  3C034CA13 ,  3C034CB08
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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