特許

J-GLOBAL ID：201503006519347972

多軸センサ

発明者： 岡見 威
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-272093
公開番号（公開出願番号）：特開2015-125124
出願日： 2013年12月27日
公開日（公表日）： 2015年07月06日
要約：

【課題】多軸方向の物理量を検出可能としセンサの小型化が図れ、且つ他軸感度による誤差を補正し検出精度の向上が図れる多軸センサを提供すること。【解決手段】センサ10は、Z軸回転の角速度に応じたコリオリ力によって錘部11がY方向に変動すると、第1固定電極31,32,35,36と可動電極部26,28との間の静電容量が変動する。また、センサ10は、Y軸回転の角速度に応じたコリオリ力によって錘部11の第1及び第2翼部23,24がZ方向に回転すると、第1及び第2翼部23,24と基板14上に形成された第2固定電極33,38との間の静電容量が変動する。この多軸センサであるセンサ10において、Z軸回転の角速度を検出する際に、他軸であるY軸回転の角速度の検出結果を用いて補正処理を行う構成とした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、 前記基板から遊離して変動する弾性部と、 前記弾性部に支持されることによって、第1方向と、前記第1方向とは異なる第2方向との少なくとも2方向に対して変動可能に構成される錘部と、 前記基板に固定される第1固定電極と、前記錘部に設けられる第1可動電極との前記第1方向における距離に応じて静電容量が変動する第1静電容量部と、 前記基板に固定される第2固定電極と、前記錘部に設けられる第2可動電極との前記第2方向における距離に応じて静電容量が変動する第2静電容量部と、を備え、 前記第1静電容量部の静電容量の変化量を検出する際における前記第2静電容量部の静電容量の変化量を用いて、前記第1静電容量部の静電容量の変化量を補正することを特徴とする多軸センサ。

IPC (5件)：

G01C 19/576 ,  G01P 15/18 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00

FI (5件)：

G01C19/56 262 ,  G01P15/00 K ,  G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z ,  B81B3/00

Fターム (25件)：

2F105BB03 ,  2F105BB07 ,  2F105BB13 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  3C081AA01 ,  3C081AA11 ,  3C081BA07 ,  3C081BA33 ,  3C081BA44 ,  3C081BA46 ,  3C081BA47 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081BA76 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA11 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112EA03 ,  4M112FA01 ,  4M112GA03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-308460   出願人：株式会社村田製作所
• 加速度検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-097877   出願人：株式会社村田製作所
• 静電容量検出型の物理量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-006403   出願人：富士通株式会社, 富士通メディアデバイス株式会社