特許
J-GLOBAL ID：201503006731431819
熱電熱交換システムに関するシステムおよび方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 英知国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-511623
公開番号（公開出願番号）：特表2015-521272
出願日： 2013年05月07日
公開日（公表日）： 2015年07月27日
要約：
本開示の実施形態は、複数の熱電冷却器(TEC)を制御して、チャンバーの設定点温度を維持することに関する。一実施形態では、コントローラは、チャンバーの温度に対応する温度データを受信する。温度データに基づいて、コントローラは、2つまたは3つ以上のTECのサブセットを選択的に制御して、チャンバーの温度を所望の設定点温度に維持する。このようにして、コントローラは、TECが効率的にチャンバーの温度を設定点温度に維持するようにTECを動作するように制御可能とされる。別の実施形態では、コントローラは、温度データおよび所望の成績特性に基づいて、コントローラによって可能とされた1つまたは2つ以上の制御スキームを選択する。次いで、コントローラは、選択された制御スキーム(複数可)にしたがって、1つまたは2つ以上のTECのサブセットを独立に制御する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
チャンバーの設定点温度を維持するために複数の熱電冷却器(TEC)を備える熱交換器の制御方法であって、前記方法が、
前記チャンバーの温度を示す温度データを受信するステップと、
前記複数のTECにおける2つまたは3つ以上のTECのサブセットを前記チャンバーの前記温度に基づいて選択的に制御するステップと
を備える、チャンバーの設定点温度を維持するために複数の熱電冷却器(TEC)を備える熱交換器の制御方法。
IPC (4件)：
F25B 21/02
, H01L 35/28
, H01L 35/30
, F28D 15/02
F25B21/02 K
, H01L35/28 Z
, H01L35/30
, F28D15/02 101L
, F28D15/02 R
, F28D15/02 101N
