特許
J-GLOBAL ID：201503007085522962

検査装置および検査方法

発明者：
池 田 隆 洋

池 田 隆 洋 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (5件)： 勝沼 宏仁 ,  佐藤 泰和 ,  川崎 康 ,  関根 毅 ,  箱崎 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-126841
公開番号（公開出願番号）：特開2015-002114
出願日： 2013年06月17日
公開日（公表日）： 2015年01月05日
要約：
【課題】ミラー光学系を用いたパターン検査において、スループットおよび精度のいずれについても優れた検査装置および検査方法を提供する。【解決手段】実施形態の検査装置は、電子線照射手段と、電圧印加手段と、格子パターンが形成された実質的に平坦な部材と、第1の検出器と、を持つ。前記電子線照射手段は、電子線を生成し、第1の電圧で試料に向けて照射する。前記電圧印加手段は、前記第1の電圧と逆符号の電圧であって前記第1の電圧の絶対値を上回る絶対値を有する第2の電圧を前記試料に印加可能である。前記部材は、前記第2の電圧により前記試料に到達する前に鏡面反射した電子線がフォーカスする位置に設けられる。前記第1の検出器は、前記鏡面反射した電子線が前記部材に入射することにより発生する二次電子を検出して信号を出力する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子線を生成し、第1の電圧で試料に向けて斜めに照射する電子線照射手段と、 前記第1の電圧と逆符号の電圧であって前記第1の電圧の絶対値を上回る絶対値を有する第2の電圧を前記試料に印加可能な電圧印加手段と、 前記第2の電圧により前記試料に到達する前に鏡面反射した電子線がフォーカスする位置に設けられ、格子パターンが形成された実質的に平坦な部材と、 前記鏡面反射した電子線が前記部材に入射することにより発生する二次電子を検出して信号を出力する第1の検出器と、 前記信号を処理して前記電子線の鏡面反射面における電位分布を取得する電位分布取得手段と、 前記電子線照射ユニットと前記試料との間に配置され、前記電子線照射ユニット側から入射する電子線については前記試料に対して実質的に垂直の方向で出射し、前記試料側から入射する電子線については直進して出射するように電子線の軌道を制御する電界磁界型偏向器と、 を備え、 前記部材は、複数の格子パターンが各面に形成された多面体で構成されて前記電界磁界型偏向器よりも前記電子線照射ユニットの側に配置され、 前記部材を回転させて格子パターンの切り替えを行う駆動手段をさらに備えることを特徴とする検査装置。
IPC (4件)：
H01J 37/29 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
H01J37/29 ,  H01J37/20 H ,  H01J37/28 B ,  H01L21/66 J
Fターム (13件)：
4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA08 ,  4M106CA39 ,  4M106DB05 ,  4M106DB13 ,  4M106DJ23 ,  5C001AA01 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C033UU04 ,  5C033UU05 ,  5C033UU10
引用特許：
審査官引用 (3件)

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