特許
J-GLOBAL ID：200903020160146989
電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井上 学
, 戸田 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-207342
公開番号（公開出願番号）：特開2009-043936
出願日： 2007年08月09日
公開日（公表日）： 2009年02月26日
要約：
【課題】 本発明の目的は、荷電粒子線の照射によって誘起される試料の電位変化を抑制しつつ、荷電粒子線を用いた試料表面の電位測定、或いは試料帯電によって変化する装置条件を自動的に調整する装置の提供にある。【解決手段】 上記目的を達成するために、荷電粒子線を試料に向けて照射している状態において、当該荷電粒子線が試料へ到達しない状態(以下ミラー状態と称することもある)となるように、試料に電圧を印加し、そのときに得られる信号を用いて、試料電位に関する情報を検出する方法、及び測定結果を基に自動的に装置条件を調整する装置を提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料に電位を与えるステージから構成される電子顕微鏡において、試料に与える電位を加速電子ビームよりも大きく設定して入射電子を試料直上で反射させ、反射電子(ミラー電子)の入射位置からのずれを検出し、その量から試料の帯電電位を求める方法及びその電位測定機能を搭載した電子顕微鏡において、測定した試料電位に基づいて、対物レンズの励磁量及び倍率,走査範囲を制御することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, H01J 37/28
, H01J 37/20
H01L21/66 J
, H01J37/28 B
, H01J37/20 H
4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106DB05
, 4M106DJ19
, 4M106DJ20
, 4M106DJ39
, 5C001AA08
, 5C001BB07
, 5C001CC04
, 5C001DD02
, 5C033UU01
, 5C033UU02
, 5C033UU04
, 5C033UU08
, 5C033UU10
出願人引用 (15件)
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審査官引用 (13件)
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