特許
J-GLOBAL ID：201203025059168553

試料電位情報検出方法及び荷電粒子線装置

発明者：
山崎 実

山崎 実 について

, 
池上 明

池上 明 について

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数見 秀之

数見 秀之 について

, 
那須 修

那須 修 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-264205
公開番号（公開出願番号）：特開2012-043816
出願日： 2011年12月02日
公開日（公表日）： 2012年03月01日
要約：
【課題】本発明の目的は、荷電粒子線の照射によって誘起される試料の電位変化を抑制しつつ、荷電粒子線を用いた試料表面の電位測定、或いは試料帯電によって変化する装置条件の変動の補償値を検出する方法、及び装置の提供にある。【解決手段】上記目的を達成するために、荷電粒子線を試料に向けて照射している状態において、当該荷電粒子線が試料へ到達しない状態(以下ミラー状態と称することもある)となるように、試料に電圧を印加し、そのときに得られる信号を用いて、試料電位に関する情報を検出する方法、及び装置を提供する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
荷電粒子源から放出される荷電粒子線が試料に向かって照射されている状態で、前記試料に到達することなく反射される荷電粒子に基づいて、前記試料の電位を求める試料電位測定方法において、 当該荷電粒子源から放出される荷電粒子線を加速させる加速電圧の値よりも、 前記荷電粒子線を減速させるリターディング電圧の値が大きいときに、 前記荷電粒子源と、前記荷電粒子線を集束する対物レンズとの間に配置された荷電粒子検出器に検出される前記荷電粒子の軌道に関する情報と、 所定の試料電位において前記荷電粒子検出器に検出される荷電粒子の軌道に関する情報との違いに基づいて、 前記試料の電位を求めることを特徴とする試料電位測定方法。
IPC (3件)：
H01J 37/29 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/28
FI (3件)：
H01J37/29 ,  H01J37/20 H ,  H01J37/28 B
Fターム (6件)：
5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C033UU02 ,  5C033UU04 ,  5C033UU08 ,  5C033UU10
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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