特許
J-GLOBAL ID：201503007243998059

光学式座標測定装置

発明者：
池淵 正康

池淵 正康 について


出願人/特許権者：
株式会社キーエンス

株式会社キーエンス について


代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-069858
公開番号（公開出願番号）：特開2015-190927
出願日： 2014年03月28日
公開日（公表日）： 2015年11月02日
要約：
【課題】測定精度の低下が防止された光学式座標測定装置を提供する。【解決手段】保持部材400は、吸湿性が低くかつ線膨張係数が小さい材料からなる。保持部材400によりマーカ部材411,412,413が保持される。マーカ部材411,412,413は、ガラスからなる板状部材を含む。板状部材の一面に複数の円形領域CRを除いて遮光性のマスクが印刷により形成される。マーカ部材411,412,413の下方に発光基板431,432,433が配置される。発光基板431,432,433の上面には、複数の発光素子Lが実装される。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
複数のマーカを有し、測定位置を指定するためのプローブと、 前記プローブの前記複数のマーカを撮像することにより画像データを生成する撮像部と、 前記撮像部により生成された画像データに基づいて、前記プローブにより指定される測定位置の座標を算出する算出部とを備え、 前記プローブは、 光源と、 各マーカを構成する透光領域をそれぞれ有し、前記光源により発せられる光を透過するガラスからなる複数の透光部と、 前記マーカの外形が形成されるように、各透光領域を除いて前記複数の透光部の表面に形成される遮光膜と、 前記複数の透光部を保持する保持部とを含む、光学式座標測定装置。
IPC (2件)：
G01B 11/00 ,  G01B 5/008
FI (2件)：
G01B11/00 H ,  G01B5/008
Fターム (27件)：
2F062AA04 ,  2F062EE01 ,  2F062EE62 ,  2F062GG71 ,  2F062HH01 ,  2F062HH13 ,  2F062LL11 ,  2F065AA04 ,  2F065AA17 ,  2F065BB05 ,  2F065BB28 ,  2F065BB29 ,  2F065FF09 ,  2F065GG07 ,  2F065GG22 ,  2F065HH02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL30 ,  2F065LL49 ,  2F065PP01 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ24 ,  2F065SS01 ,  2F065SS13
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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