特許
J-GLOBAL ID：201503007583617601

感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、感放射線性酸発生体及び化合物

発明者：
生井 準人

生井 準人 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (9件)： 天野 一規 ,  池田 義典 ,  小川 博生 ,  石田 耕治 ,  各務 幸樹 ,  根木 義明 ,  川端 和也 ,  塩谷 隆嗣 ,  藤中 賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-230735
公開番号（公開出願番号）：特開2015-090457
出願日： 2013年11月06日
公開日（公表日）： 2015年05月11日
要約：
【課題】LWR性能、CDU性能、解像性、断面形状の矩形性、焦点深度、露光余裕度及びMEEF性能に優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】酸解離性基を含む構造単位を有する重合体、及び第1感放射線性酸発生体を含有し、第1感放射線性酸発生体が、式(1-1)で表される部分構造及び式(1-2)で表される部分構造からなる群より選ばれる少なくとも1種と、SO3-又はCOO-とを含むアニオン、及び感放射線性オニウムカチオンを有する化合物からなる感放射線性樹脂組成物である。式(1-1)及び(1-2)中、R1は、それぞれ独立して、炭素数3〜30の置換メタンジイル基である。式(1-1)及び(1-2)におけるR1の置換メタンジイル基としては、置換エテニリデン基が好ましい。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
酸解離性基を含む構造単位を有する重合体、及び 第1感放射線性酸発生体 を含有し、 上記第1感放射線性酸発生体が、 下記式(1-1)で表される部分構造及び下記式(1-2)で表される部分構造からなる群より選ばれる少なくとも1種と、SO3-又はCOO-とを含むアニオン、及び 感放射線性オニウムカチオン を有する化合物からなる感放射線性樹脂組成物。
IPC (10件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/038 ,  C07C 309/23 ,  C07C 309/19 ,  C07C 309/24 ,  C07C 381/12 ,  C09K 3/00 ,  H01L 21/027 ,  C07D 307/77
FI (10件)：
G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/038 601 ,  C07C309/23 ,  C07C309/19 ,  C07C309/24 ,  C07C381/12 ,  C09K3/00 K ,  H01L21/30 502R ,  C07D307/77
Fターム (37件)：
2H125AF17P ,  2H125AF38P ,  2H125AF41P ,  2H125AF70P ,  2H125AH15 ,  2H125AH16 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH24 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ48Y ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ69X ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN54P ,  2H125AN56P ,  2H125AN88P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CB16 ,  2H125CC01 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  2H125FA05 ,  4C037XA10 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB76 ,  4H006AB80
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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