特許
J-GLOBAL ID:201503007951943662
グラフェン電極を有する容量性の湿度センサー
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
村山 靖彦
, 志賀 正武
, 渡邊 隆
, 実広 信哉
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-514541
公開番号(公開出願番号):特表2015-518158
出願日: 2013年06月04日
公開日(公表日): 2015年06月25日
要約:
本発明は、パリレン又はポリエステルのような高分子材料などの低い水分透過性を有する誘電性材料(108)、及び、グラフェン等の、接触する誘電性材料の水分透過性より高い水分透過性を有する電極(11)を含む容量性の湿度センサーの製造に関する。
請求項(抜粋):
支持体(100)上に
-第1電極(104)、
-前記第1電極(104)及び第2電極(114)の間に配される誘電性材料の領域(107)を含み、
前記第2電極が、それが接触する前記誘電性材料の領域の水分透過性より高い水分透過性を有する導電性材料に基づく層によって形成される、容量性タイプの湿度センサー。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (10件):
2G060AA01
, 2G060AB02
, 2G060AE19
, 2G060AF10
, 2G060AG06
, 2G060AG11
, 2G060AG15
, 2G060BB10
, 2G060JA02
, 2G060KA04
引用特許:
出願人引用 (6件)
-
特許第2529136号
-
ガスセンサ及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-123866
出願人:日本特殊陶業株式会社
-
センサ装置およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2010-064181
出願人:富士通株式会社
-
ガスセンサ及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-029001
出願人:キヤノン株式会社
-
可撓性湿度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-076001
出願人:吉田潤一郎
-
温湿度測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-058072
出願人:日置電機株式会社
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審査官引用 (6件)
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特許第2529136号
-
ガスセンサ及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-123866
出願人:日本特殊陶業株式会社
-
センサ装置およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2010-064181
出願人:富士通株式会社
-
ガスセンサ及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-029001
出願人:キヤノン株式会社
-
可撓性湿度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-076001
出願人:吉田潤一郎
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温湿度測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-058072
出願人:日置電機株式会社
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