特許
J-GLOBAL ID：201503008542239470
テーブル装置、及び搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-075514
公開番号（公開出願番号）：特開2015-196222
出願日： 2014年04月01日
公開日（公表日）： 2015年11月09日
要約：
【課題】位置決め精度の低下を抑制できるテーブル装置を提供する。【解決手段】テーブル装置は、ベース部材と、ベース部材の上に配置されるテーブルと、第1軸、第2軸、及び第3軸と平行な方向にテーブルを移動可能な駆動システムと、テーブルに接続されるピストン部材と、ピストン部材の周囲に配置され、第1軸と平行な方向にピストン部材を移動可能に支持し、第2軸及び第3軸と平行な方向にベース部材に移動可能に支持されるシリンダ部材と、シリンダ部材に配置され、ピストン部材の側面との間に気体軸受を形成する第1軸受部材と、シリンダ部材に配置され、ベース部材のガイド面との間に気体軸受を形成する第2軸受部材と、ピストン部材の下面が面するシリンダ部材の内部空間の下部空間に気体を供給する供給口を有する重力補償装置と、を備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
所定面と平行なガイド面を有するベース部材と、
前記ベース部材の上に配置されるテーブルと、
前記所定面と直交する第1軸と平行な方向に関して前記ベース部材と前記テーブルとの間に配置され、動力を発生するアクチュエータを含み、前記第1軸と平行な方向、前記所定面内の第2軸と平行な方向、及び前記所定面内において前記第2軸と直交する第3軸と平行な方向に前記テーブルを移動可能な駆動システムと、
上面、下面、及び前記上面と前記下面とを結ぶ側面を有し、前記上面側の少なくとも一部が前記テーブルに接続されるピストン部材と、
前記ピストン部材の周囲に配置され、前記第1軸と平行な方向に前記ピストン部材を移動可能に支持し、前記第2軸と平行な方向及び前記第3軸と平行な方向のそれぞれに前記ベース部材に移動可能に支持されるシリンダ部材と、
前記シリンダ部材に配置され、前記ピストン部材の側面との間に気体軸受を形成する第1軸受部材と、
前記シリンダ部材に配置され、前記ベース部材のガイド面との間に気体軸受を形成する第2軸受部材と、
前記ピストン部材の下面が面する前記シリンダ部材の内部空間の下部空間に面するように配置され、前記下部空間に気体を供給する供給口を有する重力補償装置と、
を備えるテーブル装置。
IPC (4件)：
B23Q 1/38
, B23Q 1/62
, B23Q 1/44
, B23Q 1/40
B23Q1/38 A
, B23Q1/62 C
, B23Q1/44 G
, B23Q1/40
3C048AA01
, 3C048BC02
, 3C048CC04
, 3C048CC07
, 3C048DD10
, 3C048DD26
, 3C048EE02
