特許
J-GLOBAL ID：200903039098768580
ワークチャック及びその制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
森 哲也
, 内藤 嘉昭
, 崔 秀▲てつ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-070466
公開番号（公開出願番号）：特開2007-219537
出願日： 2007年03月19日
公開日（公表日）： 2007年08月30日
要約：
【課題】ワーク(基板)の大型化に伴い、ワークに生じやすい変形や歪を軽減することが出来るワークチャックを有する露光装置を提供する。【解決手段】ワークを吸着載置するワークチャックは、そのワーク載置面に複数の吸着領域を設け、各々の吸着領域の内側には領域壁と同一高さの複数のランドを配設し、前記領域壁とランドを除く部分を凹部とし、各々の吸着領域を各々選択的に且つ独立の正、負圧又は大気圧状態に制御する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
ワークに対しパターン露光用の照射手段の光を受けてワークの露光面に露光すべきパターンを有するマスクと、前記マスクに対向配置され被露光材としてのワークを保持して、前記マスクと相対的に対向する位置を変えて、前記ワーク上に前記マスクのパターンを露光するようにしたワークチャックにおいて、
前記ワークチャックは該ワークチャックのワーク載置面に、複数の吸着領域と、該吸着領域の内側には前記ワークを支持するランドと、該ランドを除く部分には凹部とを設け、前記吸着領域を吸着及び非吸着状態に選択的に制御する正負圧制御装置を備えたことを特徴にしたワークチャック。
IPC (4件)：
G03F 7/20
, H01L 21/683
, H01L 21/68
, H01L 21/027
G03F7/20 501
, H01L21/68 P
, H01L21/68 K
, H01L21/30 503C
2H097AB05
, 2H097BA10
, 2H097LA17
, 5F031CA05
, 5F031HA08
, 5F031HA14
, 5F031HA33
, 5F031JA06
, 5F031JA32
, 5F031KA06
, 5F031KA07
, 5F031MA27
, 5F046BA02
, 5F046CC08
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (8件)
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