特許
J-GLOBAL ID：201503008745889926

ラック・アンド・ピニオン機構及び真空処理装置

発明者：
田中 康友

田中 康友 について


出願人/特許権者：
キヤノンアネルバ株式会社

キヤノンアネルバ株式会社 について


代理人 (2件)： 渡辺 敬介 ,  山口 芳広
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-082814
公開番号（公開出願番号）：特開2013-177975
特許番号：特許第5744954号
出願日： 2013年04月11日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被搬送物を搭載して搬送軌道上に配置可能な載置台と、 前記載置台に固定されたラックギヤと、 前記ラックギヤと噛合して前記載置台を進行方向に移送する現工程のピニオンギヤと、 前記現工程のピニオンギヤの前記進行方向に設けられ、前記ラックギヤに噛合して載置台を前記進行方向に移送する次工程のピニオンギヤと、 制御装置と、 を備え、 前記制御装置は、 前記現工程のピニオンギヤと前記次工程のピニオンギヤとの距離L、前記ラックギヤの歯ピッチp及び前記次工程のピニオンギヤの歯数から算出された位相差分に基づいて、前記次工程のピニオンギヤを進行方向へ回転させることを特徴とするラック・アンド・ピニオン機構。
IPC (4件)：
F16H 19/04 ( 200 6.01) ,  C23C 14/50 ( 200 6.01) ,  C23C 14/56 ( 200 6.01) ,  H01L 21/677 ( 200 6.01)
FI (5件)：
F16H 19/04 N ,  F16H 19/04 J ,  C23C 14/50 K ,  C23C 14/56 G ,  H01L 21/68 A
引用特許：
審査官引用 (8件)
  • 搬送台車の真空室内走行制御方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-022251   出願人：三菱重工業株式会社
  • 特開平4-125222
  • 特開平4-125222
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