特許
J-GLOBAL ID：201503009900468955
ウェハを試験するための設備
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
江崎 光史
, 鍛冶澤 實
, 篠原 淳司
, 清田 栄章
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-523458
公開番号（公開出願番号）：特表2015-524616
出願日： 2013年05月29日
公開日（公表日）： 2015年08月24日
要約：
本発明は、1つの基板6の複数の電気接点上に押圧される複数の試験端子8を有する1つの走査ヘッド7によって複数の集積回路を試験するための設備に関する。当該試験端子が、1つの基板6、例えば、複数の集積回路を有する1つのウェハ、の複数の電気接点上に押圧される。当該設備は、前記走査ヘッド7が固定されている1つのフレーム1と、前記基板6を収容するための1つの基板キャリア5とを有する。少なくとも1つの磁気要素が、力を発生させる。前記複数の試験端子8が、前記力によって前記集積回路の前記電気接点上に押圧される。この場合、少なくとも3つの磁石アクチュエータ10が使用される。それぞれ1つの距離センサ11が、これらの磁石アクチュエータ10に付設されていて、これらの磁石アクチュエータ10が、前記基板キャリア5の周りに配置されている結果、前記磁石アクチュエータ10と前記フレーム1との間の距離、すなわち前記基板キャリア5と前記走査ヘッド7との間の距離が調整可能である。
請求項（抜粋）：
1つの基板(6)の複数の電気接点上に押圧される複数の試験端子(8)を有する1つの走査ヘッド(7)によって複数の集積回路を試験するための設備であって、
当該設備は、前記走査ヘッド(7)が固定されている1つのフレーム(1)と、前記基板(6)を収容するための1つの基板キャリア(5)と、力を発生させるための1つの磁気要素とを有し、前記複数の試験端子(8)が、前記力によって前記集積回路の前記電気接点上に押圧される当該設備において、
少なくとも3つの磁石アクチュエータ(10)が設けられていて、それぞれ1つの距離センサ(11)が、これらの磁石アクチュエータ(10)に付設されていて、これらの磁石アクチュエータ(10)が、前記基板キャリア(5)の周りに配置されている結果、前記磁石アクチュエータ(10)と前記フレーム(1)との間の距離、すなわち前記基板キャリア(5)と前記走査ヘッド(7)との間の距離が調整可能であることを特徴とする設備。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/66 B
, G01R31/28 H
2G132AE02
, 2G132AE22
, 2G132AF02
, 2G132AF07
, 2G132AL03
, 4M106AA01
, 4M106BA01
, 4M106DD03
, 4M106DD10
, 4M106DH03
, 4M106DJ04
, 4M106DJ05
, 4M106DJ06
