特許
J-GLOBAL ID：201503009950006197
ウェブ製造プロセスにおける用途固有の繰り返し欠陥検出
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 南山 知広
, 榎原 正巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-149307
公開番号（公開出願番号）：特開2015-227888
出願日： 2015年07月29日
公開日（公表日）： 2015年12月17日
要約：
【課題】ウェブを検査して1つ以上の製品へのウェブの後続の加工を制御するための技術を提供する。【解決手段】システムは、例えば、撮像装置26A〜26Nと、解析用コンピュータ28と、加工制御システム4とを含む。撮像装置26A〜26Nは、ウェブ20を撮像してデジタル情報を提供する。解析用コンピュータ28は、デジタル情報を処理して、ウェブ20の異常を含む領域を識別する。加工制御システム4は、どの異常が複数の異なる製品にとっての実際の欠陥を表わしているのかを判定するために、その後デジタル情報を解析する。ウェブ検査システムは、所与の異常が繰り返し異常であるのかそれとも不規則的な異常であるのかに応じて、異なる用途固有の欠陥検出レシピを優先的に適用することができる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
デジタル情報を提供するために、ウェブの連続的な部分を撮像することと、
異常を含む前記ウェブ上の領域を識別するために、少なくとも1つの初期アルゴリズムにより前記デジタル情報を処理することと、
前記ウェブ上の前記異常の部分を識別することと、
前記ウェブ上の前記部分に基づいて、一連の前記異常を繰り返し異常であると識別し、残りの前記異常を不規則的な異常であると識別することと、
前記繰り返し異常のどれが製品にとっての実際の欠陥を表しているかを判定するために、前記繰り返し異常の前記デジタル情報を第1の欠陥検出アルゴリズムにより解析することと、
前記不規則的な異常のどれが前記製品にとっての実際の欠陥を表しているかを判定するために、前記不規則的な異常の前記デジタル情報を第2の欠陥検出アルゴリズムにより解析することと、
前記製品にとっての判定された実際の欠陥に基づいて、前記ウェブを前記製品に加工することと、
を含む方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/892 A
, G01N21/89 T
2G051AA34
, 2G051AA37
, 2G051AA40
, 2G051AB02
, 2G051CA03
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051CB02
, 2G051DA06
, 2G051DA09
, 2G051DA15
, 2G051EA02
, 2G051EA14
, 2G051EA21
, 2G051EB09
, 2G051EC01
, 2G051EC06
, 2G051ED08
, 2G051ED13
, 2G051FA02
