特許
J-GLOBAL ID：201503011157065259

定量吐出ポンプ

発明者：
田邉 雅明

田邉 雅明 について


出願人/特許権者：
タツモ株式会社

タツモ株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人 楓国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-190065
公開番号（公開出願番号）：特開2015-055225
出願日： 2013年09月13日
公開日（公表日）： 2015年03月23日
要約：
【課題】作動流体室とシール部との間を所定のタイミングで選択的に連通させることにより、作動流体への外気の混入、シール部の隔壁の破損、ポンプ室の破損を防止する。【解決手段】シール部150の内部圧力を検出する圧力センサ170の検出圧力が所定圧力よりも低くなった場合には、吸入弁51及び吐出弁61を閉鎖した状態で、バイパス弁162を開放し、ピストン140を矢印F方向に前進させる。作動流体室120内の作動流体200がパイパス弁162を介して調圧室160に流入し、調圧室160に連通しているシール部150の内部圧力が上昇し、所定圧力に回復する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ワークに対して処理液を供給するための処理液供給装置に用いられる定量吐出ポンプであって、 前記処理液の吸込口及び吐出口を有し、容積を拡縮自在に構成されたポンプ室と、 前記ポンプ室の容積を拡縮させるための作動流体が充填された作動流体室と、 前記作動流体室に連通するシリンダ部と、 前記シリンダ部内で前記作動流体室に向けて進退自在にされた加圧部材と、 前記加圧部材の進退方向について前記加圧部材を挟んで前記作動流体室の反対側を覆い、前記加圧部材の進退動作に追従して変形自在の隔壁を備え、内部に前記作動流体が充填されたシール部と、 前記作動流体室と前記シール部との間を選択的に連通させるバイパス路と、 前記シール部の容積を縮小する方向に付勢する調圧部と、 所定のタイミングで前記バイパス路を開放させる制御部と、を備えた定量吐出ポンプ。
IPC (1件)：
F04B 43/10
FI (1件)：
F04B43/10
Fターム (15件)：
3H077AA08 ,  3H077BB10 ,  3H077CC02 ,  3H077CC09 ,  3H077DD09 ,  3H077DD13 ,  3H077EE15 ,  3H077EE21 ,  3H077EE26 ,  3H077FF10 ,  3H077FF15 ,  3H077FF45 ,  3H077FF47 ,  3H077FF55 ,  3H077FF57
引用特許：
審査官引用 (4件)
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