特許
J-GLOBAL ID：201003046800841620

外観検査装置

発明者：
奈 良 堅 太

奈 良 堅 太 について

, 
佐 原 隆 広

佐 原 隆 広 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (5件)： 吉武 賢次 ,  永井 浩之 ,  岡田 淳平 ,  勝沼 宏仁 ,  村田 卓久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-325739
公開番号（公開出願番号）：特開2010-145347
出願日： 2008年12月22日
公開日（公表日）： 2010年07月01日
要約：
【課題】めっき層表面に生じるめっき未着等の欠陥を安定的に検出することが可能な外観検査装置を提供する。【解決手段】外観検査装置20は、パッド部と、パッド部と異なる色彩をもつめっき層とを有する被検査基材10の外観を検査するものである。外観検査装置20は、被検査基材10に対して光を照射する照明装置と、被検査基材10を撮像してカラー画像を取得するカラーセンサカメラ22と、カラーセンサカメラ22に接続された画像処理装置30とを備えている。画像処理装置30は、カラー画像のうちパッド部からの反射率が低く、めっき層からの反射率が高くなる特定波長成分のみを含む画像成分を抽出する成分抽出部32と、特定波長成分を含む画像成分の画像を処理する画像処理部33と、めっき層の欠けを判定する判定部34とを有している。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
パッド部と、パッド部上に形成され、パッド部と異なる色彩をもつめっき層とを有する被検査基材の外観検査装置において、 被検査基材に対して光を照射する照明装置と、 被検査基材を撮像してカラー画像を取得するカラーセンサカメラと、 カラーセンサカメラに接続された画像処理装置とを備え、 画像処理装置は、カラーセンサカメラからのカラー画像のうちパッド部からの反射率と、めっき層からの反射率との差が大きくなる特定波長成分を含む画像成分のみを抽出する成分抽出部と、成分抽出部からの特定波長成分を含む画像成分の画像を処理する画像処理部と、画像処理部で処理された画像においてめっき層の未着を判定する判定部とを有することを特徴とする外観検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/956 ,  G06T 1/00 ,  G01B 11/30 ,  H01L 23/50
FI (4件)：
G01N21/956 B ,  G06T1/00 305A ,  G01B11/30 A ,  H01L23/50 D
Fターム (54件)：
2F065AA49 ,  2F065CC17 ,  2F065CC25 ,  2F065CC31 ,  2F065FF42 ,  2F065GG07 ,  2F065GG24 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL00 ,  2F065LL22 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ38 ,  2G051AA62 ,  2G051AA65 ,  2G051AA90 ,  2G051AB20 ,  2G051BB01 ,  2G051BB03 ,  2G051BB07 ,  2G051BB15 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051ED11 ,  5B057AA03 ,  5B057CA01 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CE06 ,  5B057CE16 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB06 ,  5B057DB09 ,  5B057DC25 ,  5F067AA19 ,  5F067DC15 ,  5F067DC17 ,  5F067EA04
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (7件)
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